GLTech
Диапазон по Z 150 мкм. Автоматическое управление. Сканирующая головка.
Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW Probe – это серия приборов, используемая для бесконтактного измерения изменений высоты поверхности с большой точностью. Система представляет из себя отдельный сканирующий модуль для последующей установки на производственную линию или встройки в существующую систему. Приборы линейки SURFIEW основаны на принципе оптической профилометрии и позволяют производить полноценную оценку текстуры поверхности, включая замер шероховатости образца, оценку кривизны поверхности, толщины пленок и многое другое. Оптическая профилометрия, основанная на отражении светового сигнала от поверхности, позволяет измерять топографию поверхности, достигая субнанометрового разрешения по вертикали (z ось).
Принцип работы профилометров SURFVIEW
Оптические профилометры линейки SURFIEW позволяют измерить поверхность образца в диапазонах от нескольких десятков мкм² до нескольких мм². Измеряемый участок: от 1 нм до 10 мм, вертикальное z разрешение – вплоть до 0.1 нм. Оборудование относится к приборам неразрушающего контроля и позволяет производить измерения образца без модификации поверхности (например, в сравнении с АСМ и РЭМ методиками, где поверхность образца повреждается в результате сканирования или при предварительной пробоподготовке), причём z разрешение профилометров SURFIEW не зависит от увеличения объектива, как например, в конфокальных методах. Прибор позволяет исследовать такие материалы, как полимеры, биологические образцы, порошки, металлы, стекла и многое другое.
Особенности:
Сферы применения:
Сравнение методик измерения
Параметр | 3D профилометры | АСМ микроскоп | СЭМ микроскоп |
Z разрешение | 0.1 нм | 0.5 нм | Только двухмерные изображения |
Поле сканирования | До 250 мкм | 100 X 100 мкм | 1 – 2 мм |
Вертикальный диапазон сканирования | 10 мм | 10 мкм | – |
Подготовка образца | – | – | Требуется покрытие проводимого материала |
Среда измерения | Воздух | Воздух, жидкость | Вакуум |
Сканирующие интерферометры SURFIEW основаны на WLI методике (WLI – white light interferometry или SWLI). Прибор работает за счет разложения свет излучателя в оптическом тракте прибора на 2 пучка. Первый пучок падает на образец, и , отражаясь, встречается со вторым пучком, приходящим на опорное зеркало прибора. Лучи интерферируют, разность волн отраженного и опорного пучка приводит к возникновению интерференционных полос, которые анализируются прибором.
Существуют две основные методики измерения WLI интерферометров: фазосдвигающая интерферометрия (Phase-Shifting Interferometry, PSI) и вертикальная сканирующая интерферометрия (Vertical Scanning Interferometry, VSI). SURFIEW интерферометры на базе PSI методики позволяют достичь z разрешения до 0.1 нм, на базе VSI методики – до 0.5 нм.
Технические характеристики Surfiew Probe
Вертикальное разрешение | VSI < 0.5 нм, PSI < 0.1 нм |
Горизонтальное разрешение | 0.03 – 7.2 мкм (в зависимости от увеличения и камеры) |
Метод сканирования | Пьезопривод, закрытый цикл |
Диапазон сканирования | ≤ 150 мкм |
Объектив | До 5 (автоматическая турель) |
Изображающая линза | 1.0X |
Сенсор камеры | 1/2”, одноцветная |
Подсветка | Белый LED |
Фильтр | Автоматическая смена |
Опциональные приборы
Интерферометрические объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Изображающие линзы | 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х |
Предметный столик | Вращающийся вакуумный столик |
Эталонные образцы | Стандарт высоты Стандарт ширины Стандарт шероховатости |
Управление | Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками |
ИБП | On-line тип, 3000 ВА, питание ПК и головки профилометра |
Высокоточный конфокальный 3D сканирующий Рамановский (КР) микроскоп для неразрушающего […]
Запрос цены ПодробнееNTEGRA Academia – это многофункциональный АСМ для обучения старшеклассников […]
Запрос цены ПодробнееСканирующий интерферометр белого света SURFIEW Compact […]
Запрос цены Подробнее