Описание Лазерные эллипсометры серии LS

Лазерный эллипсометр серии LS – это многоугловой лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленки на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение тонких пленок и оптические константы на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с исключительной точностью. Серия LS позволяет точно измерять образцы под при установленном фиксированном угле падения. Эллипсометр серии LS может быть использован для определения характеристик отдельных пленок, нескольких их слоёв и объемных материалов (подложек).

Серия LS может использоваться для измерения толщины слоя, показателя преломления n и коэффициента экстинкции k однослойных или многослойных образцов нанопленок, для одновременного измерения показателя преломления n и коэффициента экстинкции k объемных материалов, а также для измерения толщины слоя, показателя преломления n и коэффициента экстинкции k в режиме реального времени в процессе динамического роста нанопленок.

Особенности лазерного эллипсометра серии LS

• Идеальный инструмент для измерения пленок или покрытий на подложке;
• Бесконтактное оптическое измерение толщины тонких пленок, показателя преломления, поглощения и степени поляризации образца;
• Чрезвычайно высокая стабильность и точность измерения благодаря лазерному источнику и сверхнизкошумному детектору;
• Высокоточное выравнивание образцов с помощью оптического автоколлиматора;
• Современный, удобный, оптимизированный и надежный пользовательский интерфейс включает в себя полный пакет предустановленных приложений;
• Быстрое и удобное измерение при фиксированном угле падения;
• Усовершенствованная оптоэлектронная система детекции, имеющая низкий уровень шума.