Спектральные эллипсометры серии MUL - ЭМТИОН
Спектральные эллипсометры серии MUL

ООО "Эмтион"

Спектральный эллипсометр. Образцы до 200 мм, спектр 193 - 2500 нм

Описание Спектральные эллипсометры серии MUL

 

Спектральный эллипсометр серии MUL – это высокоточный и быстрый спектроскопический эллипсометр предназначенный для измерения тонких пленок в научных исследованиях и промышленных условиях. Диапазон длин волн охватывает ультрафиолет, видимый и инфракрасный свет. Спектроскопический эллипсометр серии основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении спектроскопического эллипсометра, используемом для измерения параметров структуры слоев (например, толщины) однослойных и многослойных нанопленок, физических параметров (например, показатель преломления n, коэффициент экстинкции k или диэлектрические функции ε1 и ε2), его также можно использовать для измерения оптических свойств сыпучих материалов. Спектральный диапазон прибора охватывает ультрафиолетовый, видимый и инфракрасный диапазоны.

 

 

Преимущества

 

  • Усовершенствованный метод отбора проб с вращающимся компенсатором: диапазон от 0 до 360°, отсутствие мертвой зоны при измерении, устранение влияния деполяризации на результаты, вызванной шероховатой поверхностью;
  • Высокая скорость измерения полного спектра: типовое время измерения занимает менее 10 секунд;
  • Чувствительность обнаружения атомного уровня: измерение на атомарном уровне;
  • Видеокамера для настройки образца: видеокамера для юстировки и измерения зоны обнаружения образца;
  • Регулировка угла падения: гибкое изменение угла падения (особенно важно при работе с ультратонкими или сложными образцами).

 

Применения

 

  • Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
  • Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
  • Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
  • Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
  • Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
  • функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
  • Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои, белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
  • Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.

 

 

 

Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.

Технические характеристики спектрального эллипсометра серии MUL 

Спектральный диапазон

От 193 нм до 2500 нм (в зависимости от конфигурации системы)

Угол падения

A: автоматический гониометр 

30°-90°, компьютерное управление и автоматическая регулировка, точность лучше 0,02°

М: ручной гониометр

40° -90°, шаг 5°, точность лучше 0,02°

Ф: фиксированный угол

Предустановленный угол составляет 70° (или 65°, 75°), регулируемый до 90°, точность выше

Повторяемость измерений

При стандартной толщине пленки SiO2 100 нм:

Повторяемость – 0,01 нм

Точность показателя преломления оптической среды: 0,0005

Время однократного измерения

Измерение значений Y / D в полном спектре

Типичное время измерения 5-10 секунд

Схема измерения

Поляризатор – Образец – Компенсатор – Поляризатор (PSCA)

Источник света

Источник света широкого спектра

(Ксеноновая лампа / Вольфрамовая галогенная лампа / Дейтериевая лампа)

Пятно измерения

Регулируемое вручную 1-4 мм

Спектральное разрешение

УФ диапазон (-1000нм): ~1.6 нм, 2048 линий суммарно

ИК диапазон (1000-1700 нм): ~3,2 нм, 512 линий суммарно

ИК диапазон (1000-2500 нм): ~7,5 нм, 512 линий суммарно

Предметный столик

8 дюймов (200 мм)

Регулировка высоты 10 мм

Регулировка 2D в диапазоне ± 4 °

Управляющее ПО

Доступные языки: Английский/Китайский

Разделение уровней доступа

Есть (администратор/оператор)

Измерение в ПО

Автоматическая установка азимута оптического пути

Ручной/автоматический режим измерений

Отображение спектра в стандартных единицах энергии или длин волн

Мониторинг отклика образца, отслеживание изменений Y / D в  режиме реального времени

Может быть полезно:

Спектральные эллипсометры серии PV

  Спектральный эллипсометр серии PV – это высокопроизводительный специализированный […]

Запрос цены Подробнее
Спектральные эллипсометры серии MUL-S

  Серия MUL-S – это высокоточный, быстродействующий спектроскопический эллипсометр […]

Запрос цены Подробнее
Лазерные эллипсометры серии LS

Лазерный эллипсометр серии LS – это многоугловой лазерный эллипсометр, […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы