EX68R
Emtion
Инспекционный микроскоп для микроэлектроники
Описание EX68R
ИК микроскоп EX68R – идеальное решение для проведения инспекционного ИК контроля в таких сферах, как микроэлектроника, электроника (сборка микрокомпонентов, печатных плат), производство оптоволоконных изделий, и многих других сферах. ИК микроскоп EX68R использует эффект проникновение ближнего инфракрасного света для проведения неразрушающего контроля, осмотра и анализа структуры чипов, микрокомпоненетов, корпусов микроэлементов и многого другого.
Особенность микроскопа EX68R – мощный ИК источник, использующий длинные волны ближнего инфракрасного диапазона, обладающий высокой пробивной способностью, необходимой для анализа кремниевых пластин. Предметный столик образца позволяет работать с пластинами размером от 150 до 200 мм (доступны 2 столика: 6″ и 8″).
Особенности ИК микроскопа EX68R:
- анализ внутренней структуры пластин, чипов, mems датчиков и др. микроструктур, включая корпусированные изделия;
- широкий спектральный диапазон работы (ближний инфракрасный диапазон излучений 900-1700 нм), малое рассеяние и высокая проникающая способность для кремниевых и германиевых пластин;
- широкое поле захвата ИК камеры с подсветкой;
- объективы с большим апертурным числом NA (с возможностью регулировки) для снижения аберраций оптики, вызванной плохим освещением исследуемого объекта.
 |
 |
 |
| Неразрушающий контроль CSP/SIP чипа | Анализ MEMS устройства | Неразрушающий контроль корпуса чипа (брак корпуса) |
| Параметр | Значение |
| Тип исследования | визуализация в ближнем инфракрасном диапазоне |
| Методики | Светлое поле, темное поле |
| Вид сбоку | Тринокулярная головка с наклоном 30 ° (вертикальное изображение), межзрачковое расстояние: 50-76 мм, коэффициент разделения: 100:0 или 0:100 |
| Окуляры | Широкопольные с высокой точкой PL10X / 23 мм, регулировка диоптрий |
| Объективы | Полуапохроматические 5X/10X/20X/50X |
| Головка | Моторизированная 6ти револьверная головка с ДИК слотом |
| Рама микроскопа | Reflected тип (на пропускание) с механизмом коаксиальной фокусировки, грубый диапазон: 35 мм, шаг точной регулировки: 0.001 мм. С верхним пределом и регулировкой натяжения. Доступное напряжение: 100-240 В |
| Осветитель | ИК отражающий осветитель, возможность переключения между режимами яркого поля и ИК; с центрированной регулируемой электрической диафрагмой. С слотом для фильтров цвета. Галогенная лампа мощностью 100 Вт (12 В).
|
| Фильтр | Полосовой фильтр (1100 нм, 1200 нм, 1300 нм) |
| Камера | 1.3 мегапиксельная ИК камера |
| Адаптер камеры | 0.35X / 0.5X / 0.65X / 1X C-mount адаптер |
| Другое | Высокоточный микрометр, ПК, программное обеспечение для работы, сбора данных, с функцией обработки изображения |
Может быть полезно:
