| Механическое напряжение может оказывать прямое или косвенное влияние на функционирование и надежность микросхем, может являться причиной различных режимов отказа, таких как:
– изменения подвижности электронов или дырок – дислокации вблизи изолирующих областей – трещины в сколах, – ползучесть в металлах, – стрессовая миграция и др. Напряжение также может быть использован положительным образом, например, для увеличения подвижности носителей. |
 |
.png)