NTEGRA PRIMA - ЭМТИОН
NTEGRA PRIMA

NT-MDT

NTEGRA Prima – НаноЛаборатория, поддерживающая все основные методики АСМ и СТМ. Может быть сконфигурирована для проведения узкоспециализированных исследований.

Описание NTEGRA PRIMA

NTEGRA Prima- это многофункциональный АСМ для выполнения наиболее типичных задач в области сканирующей зондовой микроскопии. Устройство способно выполнять более 40 методик измерений, что позволяет анализировать физико-химические свойства поверхности с высокой точностью и разрешением. Можно проводить эксперименты на воздухе, а также в жидкостях и в контролируемой среде.

 

Пример атомарного разрешения на высокоориентированном пиролитическом графите

 

Слева-направо: скан 2нм х 2нм со сканером 1мкм; 3нм х 3нм со сканером 100мкм

 

Электроника нового поколения обеспечивает работу в высокочастотных (до 5 МГц) режимах. Эта функция является основной для работы с высокочастотными АСМ методами.

 

В NTEGRA Prima реализовано несколько типов сканирования: сканирование образцом, сканирование зондом и двойное сканирование. В связи с этим система идеально подходит для исследования небольших образцов со сверхвысоким разрешением (атомно-молекулярный уровень), а также для больших образцов и диапазона сканирования до 100x100x10 мкм.

 

Уникальный режим DualScan позволяет исследовать еще большие поля на поверхности (200×200 мкм для X, Y и 22 мкм для Z), что может быть полезно, например, для живых клеток и компонентов MEMS.

 

Встроенные трехосевые датчики управления с обратной связью отслеживают реальное смещение сканера и компенсируют неизбежные недостатки пьезокерамики, такие как нелинейность, ползучесть и гистерезис. Датчики, используемые NT-MDT, имеют самый низкий уровень шума, что позволяет работать с замкнутым контуром управления на очень маленьких полях (до 10×10 нм). Это особенно ценно для проведения режимов наноманипуляции и литографии. NTEGRA Prima имеет встроенную оптическую систему с разрешением 1 мкм, которая позволяет получать изображения процесса сканирования в режиме реального времени.

 

Комплексное исследование материалов

 

 

Изображение углеродных нанотрубок на кремниевой подложке. Слева-направо: топография, распределение тока и жесткости. Размер скана 1мкм х 1мкм

 

Растровый наномеханический анализ (HYBRID 3.0). Одновременное измерение карт топографии, адгезии и модуля Юнга.

 

Применение нерезонансной методики RNMA для картирования одновременно с топографией адгезионных свойств (слева) и модуля Юнга (справа). Образец полистирол в полибутадиене, размер изображения 5мкм х 5 мкм.

 

 

ПРИМЕНЕНИЕ:

  • Биология и Биотехнология (Протеины, ДНК, вирусы, бактерии, эукариоты, ткани)
  • Материаловедение (Морфология поверхности, локальные механические, пьезоэлектрические, адгезионные и трибологические характеристики)
  • Магнитные Материалы (Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля)
  • Полупроводники (Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев)
  • Полимеры и Тонкие Органические Пленки (Сферулиты и дендриты, полимерные монокристаллы, блок-сополимеры, политмерные наночастицы, ЛБ-пленки, тонкие пленки)
  • Запоминающие среды и устройства (CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи)
  • Наноматериалы (Нанопорошки, нанокомпозиты, нанопористые материалы)
  • Наноструктуры (Фуллерены, нанотрубки, нанокапсулы)
  • Наноэлектроника (Квантовые точки)
  • Нанообработка (АСМ литография: силовая (наногравировка и наночеканка), токовая (Локальное анодное оксидирование), СТМ литография)
  • Наноманипуляции (Перемещение и ориентирование нанообъектов)

 

 

 

 

  • Поддержка всех существующих и перспективных АСМ методик
  • Современная элементная база
  • Улучшены алгоритмы быстрого сканирования
  • Растровый наномеханический анализ (режим RNMA)
  • Прямой доступ к 18 АСМ сигналам

 

Сканирующая Зондовая Микроскопия
На воздухе и в жидкости: АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия/ Отображение Фазы/ Модуляция Силы/ Отображение Адгезионных Сил/ Литографии: АСМ (Силовая)
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
Технические характеристики
Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца До 40 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
Вес образца До 100 г До 300 г
XY позиционирование образца 5×5 мм
Разрешение позиционирования разрешение — 5 мкм
минимальное перемещение — 2 мкм
Поле сканирования 100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1% 0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками 0.04 нм (типично),
0.06 нм
0.06 нм (типично),
0.07 нм
Без датчиков 0.03 нм 0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками 0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)
Без датчиков 0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм (XY 50 мкм),
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)
±0.5% ±1.2%
Система видеонаблюдения Оптическое разрешение 1 мкм
(0.4 мкм по требованию,
NA 0.7)****
3 мкм
Поле зрения 4.5-0.4 мм 2.0-0.4 мм
Непрерывный зум возможно возможно
Виброизоляция Активная  0.7-1000 Гц
Пассивная выше 1 кГц

Может быть полезно:

DVIA-T

Система DVIA-T является высокоэффективной платформой для подавления вибраций в […]

Запрос цены Подробнее
Полуконтактные кантилеверы

NSG01 Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии NSG01 предназначены для […]

Запрос цены Подробнее
SPECTRA. Комбинация АСМ и Раман

Комбинация АСМ и Раман спектроскопии и микроскопии

Запрос цены Подробнее

Описание методик

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ)

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ) [1, 2] является эффективным средством исследований […]


Микроскопия пьезоотклика (АСМ)

Основная идея Силовой Микроскопии Пьезоотклика заключается в локальном воздействии […]


Амплитудно-модуляционная АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Сканирующей Зондовой Микроскопии впервые было предложено Биннигом [1]. […]


Метод отображения Фазы АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Атомно-силовой микроскопии впервые было предложено […]


Научные результаты на обору­довании

Магнитооптические, структурные и поверхностные свойства (Bi, Ga)-замещенных DyIG пленок, полученных реактивно-ионным распылением.

Зависимости магнитооптических, структурных и морфологических свойств наноразмерных (Bi, Ga) […]


Микрораман. Измерение механического напряжения в кремнии

  Механическое напряжение может оказывать прямое или косвенное влияние […]


Автоматический поиск тонкодисперсных золотых фаз в слабо минерализованных горных породах с помощью СЭМ TESCAN с системой микроанализа AZtec Automated

При исследовании слабо минерализованных горных пород и выявлении особенностей […]


Исследование микроструктуры аустенитной нержавеющей стали с помощью детектора прошедших электронов TESCAN

Основными преимуществами сталей аустенитного класса являются их высокие служебные […]


Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы