EXT MagOPTIC
Российская Федерация
Модуль магнитооптики высокого разрешения
Описание EXT MagOPTIC
Модуль магнитооптики высокого разрешения для АСМ серии NTEGRA. Магнитооптика высокого разрешения основана на реализации поляризационной ближнепольной микроскопии на базе атомно-силовой микроскопии. Позволяет получать одновременно с одной и той же области топографию и магнитооптическое изображение с оптическим разрешением до 50нм – 100нм. Используется немагнитный кантилевер с отверстием для засветки образца через апертуру (размер апертуры от 50нм до 200нм). Модуль включает в себя специализированную оптическую головку с возможностью фокусировки поляризованного лазерного излучения на апертуру кантилевера, систему завода и формирования лазерного луча с поляризатором, систему регистрация вращения плоскости поляризации света.
Схема измерений и внешний вид апертурных кантилеверов в поляризационной ближнепольной оптической микроскопии.
Особенности:
- Получения одновременно топографии и магнитооптического изображения доменной структуры
- Пространственное разрешение магнитооптического разрешения – до 50нм (ограничено апертурой кантилевера)
- Отсутствие взаимного влияния и перемагничивания за счет использования немагнитного апертурного кантилевера
- Возможность снятия петель гистерезиса
- Возможность работы во внешнем магнитном поле
|
|
|
|
Сканирующая Зондовая Микроскопия
|
||
| Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/ | ||
|
Технические характеристики
|
Тип сканирования
|
|
| Сканирование образцом | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | |
| Разрешение позиционирования | разрешение – 5 мкм минимальное перемещение – 2 мкм |
|
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | ||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
 0.1% |
|
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
|
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц |
| Пассивная | выше 1 кГц | |
Буклет_Магнитная литография и визуализация.
ЗагрузитьМожет быть полезно:
EXT MField
Модуль внешнего магнитного поля для АСМ серии NTEGRA. Позволяет […]
Запрос цены Подробнее