EXT Vac
Российская Федерация
Модуль АСМ измерений в вакууме и контролируемой атмосфере
Описание EXT Vac
Модуль измерений в вакууме и контролируемой атмосфере для АСМ серии NTEGRA. Позволяет проводить измерение топографии и электро-магнитных свойств образцов в низком вакууме до 10-2 Торр.
В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется минимально. Увеличение чувствительности особенно важно для измерения слабых сил, например, для высокочувствительных магнитных измерений, метода зона кельвина или сканирующей емкостной микроскопии.
а) Коэффициент добротности достигает плато при вакууме 10-1 Торр и при дальнейшем повышении вакуума практически не меняется.
б) Уровень вакуума при котором достигается десятикратное увеличение коэффициента добротности достигается через 1 минуту после начала работы.
|
|
|
|
Сканирующая Зондовая Микроскопия
|
||
| Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/ | ||
|
Технические характеристики
|
Тип сканирования
|
|
| Сканирование образцом | ||
| Размер образца | До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту |
|
| Вес образца | До 100 г | |
| XY позиционирование образца | 5×5 мм | |
| Разрешение позиционирования | разрешение – 5 мкм минимальное перемещение – 2 мкм |
|
| Поле сканирования | 100x100x10 мкм 3x3x2,6 мкм не более 1x1x1 мкм |
|
| До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM) | ||
| Нелинейность, XY (с датчиками обратной связи) |
 0.1% |
|
| Уровень шума, Z (СКВ в полосе 1000 Гц) |
С датчиками | 0.04 нм (типично), 0.06 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | |
| Уровень шума, XY*** (СКВ в полосе 200 Гц) |
С датчиками | 0.2 нм (типично), 0.3 нм (XY 100 мкм) |
| Без датчиков | 0.02 нм (XY 100 мкм), 0.001 нм (XY 3 мкм) |
|
| Ошибка измерения линейных размеров (с датчиками) |
±0.5% | |
| Система видеонаблюдения | Оптическое разрешение | 1 мкм (0.4 мкм по требованию, NA 0.7)**** |
| Поле зрения | 4.5-0.4 мм | |
| Непрерывный зум | возможно | |
| Виброизоляция | Активная | 0.7-1000 Гц |
| Пассивная | выше 1 кГц | |
Буклет_Магнитная литография и визуализация.
ЗагрузитьМожет быть полезно:
SNOM на апертурных кантилеверах
Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия (SNOM) позволяет изучать оптические свойства […]
Запрос цены ПодробнееEXT MField
Модуль внешнего магнитного поля для АСМ серии NTEGRA. Позволяет […]
Запрос цены Подробнее
