Лазерный эллипсометр MUL-LA – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Прибор предназначен для интеграции в автоматизированные технологические процессы и системы контроля качества на производстве, обеспечивая высокую пропускную способность.

Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления n и коэффициента экстинкции k. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов. Конфигурация поддерживает полную автоматизацию измерений.

Фото программного обеспечения системы

Особенности лазерного эллипсометра MUL-LA

• Полная автоматизацияИнтеграция в автоматические линии с поддержкой систем подачи (конвейерная лента, робот-манипулятор).
• Сверхвысокая скорость измеренийЦикл измерений (Cycle Time) может быть оптимизирован до 0.5 секунды на точку.
• Оптическая системаОптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.
• Координатное сканирование (mapping)Поддержка двух режимов сканирования: по декартовым (X-Y) и полярным (R-θ) координатам.
• Промышленная интеграцияВозможность подключения к системам MES (Manufacturing Execution System) и удаленного управления.
• Автоматический столикX-Y или R-θ для сканирования по площади образца.
• Ручной гониометрРучной гониометр с плавной регулировкой угла падения в диапазоне 40° – 90° (настройка производится оператором).
• Система позиционированияВозможность оснащения системой позиционирования (камера + автофокус).

Сравнение моделей и опции

Камера 9× — для MUL-M, MUL-A и MUL-S; для MUL-LA доступна камера с автофокусом. MUL-LA работает на фиксированной длине волны 632,8 нм; размер базового пятна не указан. Для MUL-M, MUL-A и MUL-S микропятно 30 мкм предназначено для участков от 50 мкм. ИК-канал расширяет верхнюю границу выбранного спектрального диапазона до 1650 нм.