GLTech
Диапазон по Z 150 мкм. Автоматическое управление. Сканирующая головка.
Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW Probe – это серия приборов, используемая для бесконтактного измерения изменений высоты поверхности с большой точностью. Система представляет из себя отдельный сканирующий модуль для последующей установки на производственную линию или встройки в существующую систему. Приборы линейки SURFIEW основаны на принципе оптической профилометрии и позволяют производить полноценную оценку текстуры поверхности, включая замер шероховатости образца, оценку кривизны поверхности, толщины пленок и многое другое. Оптическая профилометрия, основанная на отражении светового сигнала от поверхности, позволяет измерять топографию поверхности, достигая субнанометрового разрешения по вертикали (z ось).
Оптические профилометры линейки SURFIEW позволяют измерить поверхность образца в диапазонах от нескольких десятков мкм² до нескольких мм². Измеряемый участок: от 1 нм до 10 мм, вертикальное z разрешение – вплоть до 0.1 нм. Оборудование относится к приборам неразрушающего контроля и позволяет производить измерения образца без модификации поверхности (например, в сравнении с АСМ и РЭМ методиками, где поверхность образца повреждается в результате сканирования или при предварительной пробоподготовке), причём z разрешение профилометров SURFIEW не зависит от увеличения объектива, как например, в конфокальных методах. Прибор позволяет исследовать такие материалы, как полимеры, биологические образцы, порошки, металлы, стекла и многое другое.
Особенности
Сферы применения
Сравнение методик измерения
Параметр | 3D профилометры | АСМ микроскоп | СЭМ микроскоп |
Z разрешение | 0.1 нм | 0.5 нм | Только двухмерные изображения |
Поле сканирования | До 250 мкм | 100 X 100 мкм | 1 – 2 мм |
Вертикальный диапазон сканирования | 10 мм | 10 мкм | – |
Подготовка образца | – | – | Требуется покрытие проводимого материала |
Среда измерения | Воздух | Воздух, жидкость | Вакуум |
Сканирующие интерферометры SURFIEW основаны на WLI методике (WLI – white light interferometry или SWLI). Прибор работает за счет разложения свет излучателя в оптическом тракте прибора на 2 пучка. Первый пучок падает на образец, и , отражаясь, встречается со вторым пучком, приходящим на опорное зеркало прибора. Лучи интерферируют, разность волн отраженного и опорного пучка приводит к возникновению интерференционных полос, которые анализируются прибором.
Существуют две основные методики измерения WLI интерферометров: фазосдвигающая интерферометрия (Phase-Shifting Interferometry, PSI) и вертикальная сканирующая интерферометрия (Vertical Scanning Interferometry, VSI). SURFIEW интерферометры на базе PSI методики позволяют достичь z разрешения до 0.1 нм, на базе VSI методики – до 0.5 нм.
Программное обеспечение Mountains®, разработанное компанией Digital Surf, является инструментом для анализа поверхности и используется в качестве стандарта в области 2D и 3D анализа текстуры поверхности и метрологии. Mountains® интегрируется с ведущими производителями приборов и микроскопов для поверхностной метрологии и используется тысячами исследовательских институтов, лабораторий и промышленных предприятий по всему миру. Данное ПО является опциональным и поставляется для профилометров Surfiew по запросу.
С помощью Mountains® можно анализировать как простые, так и сложные данные, полученные с помощью широкого спектра приборов для анализа поверхности и микроскопов. Программное обеспечение предоставляет такие возможности, как визуализация, коррекция и анализ профилей и поверхностей, вычитание шероховатости и волнистости в соответствии с ISO 16610, расчет параметров профиля и ареала ISO, извлечение функциональной и метрологической информации из данных с помощью передовых инструментов, таких как Фурье-анализ, анализ частиц, замер высоты ступеньки, подгонка формы, вейвлет-фильтрация, фрактальный анализ и т.д. Кроме того, Mountains® позволяет загружать, визуализировать и анализировать поверхности свободной формы (оболочки).
MountainsMap® – это золотой стандарт в области анализа 2D и 3D текстуры поверхности и метрологии, используемый тысячами инженеров, ученых и метрологов по всему миру. Это программное обеспечение обеспечивает надежные и точные результаты измерений и является необходимым инструментом для любого, кто занимается анализом поверхности.
Возможности программного обеспечения Mountains® включают в себя:
ПО MountainsMap® включает в себя такие инструменты как:
Вертикальное разрешение | VSI < 0.5 нм, PSI < 0.1 нм |
Горизонтальное разрешение | 0.03 – 7.2 мкм (в зависимости от увеличения и камеры) |
Метод сканирования | Пьезопривод, закрытый цикл |
Диапазон сканирования | ≤ 150 мкм |
Объектив | До 5 (автоматическая турель) |
Изображающая линза | 1.0X |
Сенсор камеры | 1/2”, одноцветная |
Подсветка | Белый LED |
Фильтр | Автоматическая смена |
Опциональные приборы
Интерферометрические объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Изображающие линзы | 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х |
Предметный столик | Вращающийся вакуумный столик |
Эталонные образцы | Стандарт высоты Стандарт ширины Стандарт шероховатости |
Управление | Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками |
ИБП | On-line тип, 3000 ВА, питание ПК и головки профилометра |
Confotec MR200 – это высокоточный конфокальный 3D сканирующий […]
Запрос цены ПодробнееNTEGRA Academia – это конфигурация микроскопа, ориентированная для образовательного […]
Запрос цены ПодробнееСканирующий интерферометр белого света SURFIEW Compact – это […]
Запрос цены Подробнее