Описание Модуль электронно-лучевой литографии

Модуль электронно-лучевой литографии, вкупе с прецизионным столиком и системой генерации изображений, позволяют проводить полноценную нанолитографию с использованием электронного пучка. Опционально также доступна модификация системы с генератором шаблонов, включая генератор наноразмерных структур. Данная модифицированная система особенно широко применяется в микроэлектронике и позволяет создавать оптоэлектронные системы, квантовые датчики и др. наноустройства для целей R&D.