Описание Двухколонный электронный микроскоп HR9000

      Электронный микроскоп HR9000 представляет из себя электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки и возможностью установки колонны сфокусированного ионного луча. Используется электронно-оптическая колонна нового поколения. Наличие внутрилинзового детектора вторичных электронов и системы торможения электронного пучка позволяет существенно повысить функциональность и разрешающую способность прибора в низковольтном режиме работы. Сочетание передового качества решений ведущих мировых производителей компонентов СЭМ и разумной стоимости оборудования, что вместе с доступным локальным сервисом на территории России позволяет обеспечить надежную и эффективную работу оборудования на долгие годы.

Особенности:

• Компактные одноколонные и двухколонные системы
• 0,9нм@15кВ (SE), 0,8нм@30кВ (STEM), низковольтный режим – 1,5нм@1кВ (SE, in-lens)
• Электронная пушка с катодом Шоттки (FEG)
• Колонна сфокусированного ионного луча (FIB), диаметр ионного луча 2,5нм @1пА
• Максимальная гибкость конфигурации до 27 внешних портов 
• Приставка для работы на просвет (STEM)
• Большая камера для образцов (∅300мм х 50мм) и наличие шлюзовой камеры
• Моторизированный по 5 осям предметный стол

Модельный ряд электронных микроскопов серии HR9000:

• HR9000 – без электростатической линзы;
• HR9000IB – без электростатической линзы с ионной колонной;
• HR9100 – с электростатической линзой;
• HR9100IB – с электростатической линзой и ионной колонной.

Опции:

Энергодисперсионный микроанализ (EDS) Дифракция отраженных электронов (EBSD) Волнодисперсионный микроанализ (WDS) Анализ катодолюминесценции (CL) Электронно-лучевая литография (EBL) Туннельная микроскопия (STM) Атомно-силовая микроскопия (AFM) Температурные столики (нагрев и охлаждение) Столик для механических нагрузок Микро и нано манипуляторы Детектор прошедших электронов (STEM)

Описание и основные характеристики:

Оптимальное решение для проведения СЭМ исследований полупроводников, металлов, горных пород, минералов, руд, биологических отложений, а также органических и полимерных образцов с высоким пространственным разрешением. В конструкции микроскопа используется объективная линза, исключающая выход электромагнитного поля за пределы нижнего среза – никаких ограничений на работу с магнитными образцами или на работу с методикой ДОЭ (EBSD) нет.

Микроскоп оснащен эмиттером Шоттки высокой яркости и стабильностью луча, ионно-оптической колонной для технологических процедур, источником прекурсоров для прецизионного электронно-стимулированного осаждения, большим столиком образцов для возможности работы с габаритными материалами, а также обладает широкими возможностями модернизации – 27 портов для установки аналитических приставок, нано-манипуляторов, ввода различного рода излучений.

Сканирующий микроскоп комплектуется детектором вторичных электронов с встроенной системой защиты, детектором отраженных электронов четырехсегментного типа для композиционного, топографического и смешанного контраста, а также внутрилинзовым детектором, обеспечивающим работу при сверхмалых энергиях луча (вплоть до 20 эВ).  Управление электронным микроскопом осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО.

Высокое пространственное разрешение   0,9нм@15кВ (SE) 1,5нм@15кВ (BSE) 2,5нм@1кВ (BSE) 0,8нм@30кВ (STEM) низковольтный режим – 1,5нм@1кВ (SE, внутрилинзовый детектор)

Интуитивно понятное программное обеспечение

Сравнение низковольтного РЭМ высокого разрешения HR9000 с мировыми брендами:

*ГИН – Геттерно-ионные вакуумные насосы; **ТМН – Турбомолекулярные вакуумные насосы

Галерея изображений, полученных на HR9000:

Полупроводниковый чип	Анод литиевого аккумулятора	Ткани организмов	Высокотемпературный сплав

Идентификация упрочняющей фазы в жаропрочном сплаве	Исследования содержания веществ в тканях и органах организмов

Описание опций для РЭМ HR9000: