Одноколонные СЭМ

HR4000

Сканирующий электронный микроскоп

Аналитический FESEM с режимом низкого вакуума

Материалы ↓

0 – 110 ммY (авто)

0 – 65 ммZ (авто)

360 градусовR (авто)

48×32 тыс. пикселейМаксимальный размер сохраняемого изображения

Описание

Сканирующий электронный микроскоп HR4000 представляет собой аналитическую модель с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для всестороннего исследования микроструктуры материалов в широком диапазоне режимов работы. Трёхступенчатая конструкция электромагнитной линзы обеспечивает превосходную производительность в аналитических приложениях, включая EDS, EBSD и WDS.

Микроскоп стандартно оснащён режимом низкого вакуума и высокопроизводительным низковакуумным детектором вторичных электронов (LVD), что позволяет исследовать непроводящие и плохо проводящие образцы без проводящего покрытия. Диапазон давлений от 10 до 180 Па достигается без ограничивающей давление апертуры, а разрешение в режиме низкого вакуума составляет 1,5 нм при 30 кВ.

Особенности

Принцип работы в режиме низкого вакуума

В режиме низкого вакуума вторичная электронная эмиссия с поверхности образца ионизирует молекулы воздуха, генерируя электроны, ионы и фотоны. Специально разработанная вакуумная камера объектива минимизирует длину свободного пробега электронов, а низковакуумный детектор (LVD) улавливает фотонные сигналы, полученные в процессе ионизации.

Генерируемые ионы нейтрализуют зарядку поверхности образца, тем самым уменьшая эффект накопления заряда на диэлектрических материалах. Это открывает возможности для прямого исследования полимеров, керамики, биологических тканей и других непроводящих материалов без предварительной подготовки.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

Низковакуумный детектор вторичных электронов (LVD) обеспечивает получение изображений непроводящих образцов без проводящего покрытия в диапазоне давлений 10-180 Па.
Детектор вторичных электронов (SE)
является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности в режиме высокого вакуума.

Детектор SE: объемная передача морфологии

В стандартную конфигурацию входит выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

Автоматизация и расширение

Платформа HR4000 отличается высокой степенью автоматизации. Микроскоп поддерживает специализированное программное обеспечение для автоматического панорамирования и анализа частиц и пор, что позволяет проводить масштабные морфометрические исследования в материаловедении, геологии и экологии.

Опционально доступны программные модули для постобработки изображений, автоматического измерения ширины линий (Auto Measure), а также комплект разработки программного обеспечения (SDK) для интеграции в автоматизированные линии и создания специализированных сценариев управления.

Технические характеристики

HR4000

Таблицу можно прокрутить вправо →

Разрешение	1,5 нм при 30 кВ (сигнал ВЭ, режим низкого вакуума)
Увеличение	от 1× до 2 500 000× на штатном мониторе
Тип эмиттера	термополевой эмиттер Шоттки (автоэмиссионный)
Ток электронного луча	от 1 пА до 20 нА
Энергия электронного луча	от 0,02 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон
Объективная линза	трёхступенчатая конструкция электромагнитной линзы специально разработанная вакуумная камера объектива для минимизации длины свободного пробега электронов в режиме низкого вакуума
Диафрагма объективной линзы	многопозиционная, без ограничивающей давление апертуры в режиме низкого вакуума
Состав вакуумной системы	турбомолекулярный насос форвакуумный механический безмасляный насос ионно-геттерный насос давление в электронной пушке: 9×10⁻⁸ Па; Давление в камере образцов: 5×10⁻⁴ Па (высокий вакуум), 10-180 Па (низкий вакуум)
Камера образцов	порты камеры образцов: 16 портов объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм максимальный размер образца: диаметр 260 мм, высота: 53 мм
Столик образцов	пятиосевой механический эвцентрический столик, моторизованный по всем пяти осям максимальный вес образца: 500 г
Диапазон перемещений	X (авто)	0 – 110 мм
	Y (авто)	0 – 110 мм
	Z (авто)	0 – 65 мм
	R (авто)	360 градусов
	T (авто)	от -10° до +70°
Детекторы (стандарт)	низковакуумный детектор вторичных электронов (LVD) детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED)
Детекторы (опции)	внутрилинзовый детектор электронов (In-lens) выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD) волнодисперсионный спектрометр (WDS)
Система энергодисперсионного микроанализа (опция)
Детектор	Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью. • Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα • Диапазон детектируемых элементов от B до Am • Встроенная безазотная система охлаждения Пельтье для работы без вибраций и готовность к эксплуатации в течение одной минуты после включения • Ручной ввод детектора в камеру • Площадь детектора: 30 мм²
Программное обеспечение	• Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре; • Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; • Сравнение полученных спектров; • Полностью автоматическое вычитание фона и деконволюция перекрывающихся линий спектра для обеспечения количественного анализа; • Автоматический расчет матричных поправок для обеспечения точного количественного анализа как легких, так и тяжелых элементов; • Определение количественного элементного состава в автоматическом режиме во всем диапазоне определяемых элементов (B-Am), как на основе пользовательских эталонов, так и безэталонным методом на основе заводских эталонов; • Анализ в произвольно выбранной на изображении точке; • Цветное элементное картирование; • Построение профиля распределения элементов по линии; • Автоматическое последовательное получение серий спектров от точек, расположенных произвольно по выбору оператора; • Анализ в точке, по прямоугольнику, по эллипсу, по полигональной фигуре; • Формирование и экспорт отчетов по результатам анализа; • ПО для анализа частиц и пор (опция); • ПО для автоматического панорамирования AutoMap (опция)
Программное обеспечение микроскопа
Режим отображения	полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация
Формат хранения изображений	TIFF, JPG, PNG, BMP
Отображение изображения	768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей
Максимальный размер сохраняемого изображения	48×32 тыс. пикселей
Отображение сигналов	можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране
Смешивание сигналов	каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением
Скорость развёртки	четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования
Функции линейного измерения	поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д., автоматическое распознавание краёв ширины линии (Auto Measure, опция)
Область аннотации изображения и данных	предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа
Меню состояния	отображение различных рабочих параметров
Функция автоматической настройки	автоматическая фокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая настройка «яркость-контраст»
Функция навигации	оптическая навигация, по фотографии с ПЗС-камеры
Вспомогательное оборудование	система навигации по фотографии образца механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма / 8 дюймов (опция) трекбол/джойстик (опция) панель с физическими органами управления
Возможные опции	внутрилинзовый детектор (In-lens), детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ (STEM), система волнодисперсионного микроанализа (WDS), система анализа катодолюминесценции (CL), модули нагрева/приложения мехнагрузок, модуль внутрикамерной атомно-силовой микроскопии, внутрикамерные микро- и наноманипуляторы, платформа активного виброподавления, комплект для разработки программного обеспечения (SDK), ПО для анализа частиц и пор, ПО для постобработки изображений, ПО Auto Measure
Операционная система	Windows
Язык интерфейса	английский
Режим низкого вакуума	10-180 Па без ограничивающей давление апертуры