NTEGRA AURA - ЭМТИОН
NTEGRA AURA

NT-MDT

NTEGRA Aura – АСМ для измерений морфологии, электрофизических и магнитных свойств материалов в вакууме и контролируемой атмосфере.

Описание NTEGRA AURA

NTEGRA Aura  –  это Сканирующий Зондовый Микроскоп для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется минимально.

 

Таким образом, NTEGRA Aura представляет собой оптимальное соотношение затрат и качества: по сравнению с высоковакуумными комплексами, существенно меньшим оказывается время, необходимое для достижения необходимого уровня вакуума — вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! При этом весь комплекс оказывается компактным, относительно простым в эксплуатации и обслуживании.

 

Как представитель платформы NTEGRA, NTEGRA Aura оснащена емкостными датчиками обратной связи по всем трем координатным осям, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. За счет открытой архитектуры функциональность NTEGRA Aura может быть существенно расширена. Это могут быть измерения с внешним магнитным полем (как горизонтальным до +/- 0,2 Т, так и вертикальным +/- 0,02 Т), высокотемпературные исследования (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.

 

Моторизированная измерительная головка

 

 

 

 

  • Автоматизация настроек для рутинных измерений
  • Возможность удаленной настройки измерительной головки, в том числе для измерений в вакууме

 

 

ПРИМЕНЕНИЕ:

 

  • Магнитные Материалы (Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля)
  • Полупроводники (Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев)
  • Запоминающие среды и устройства (CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи)
  • Наноэлектроника (Квантовые точки)
  • Нанообработка (АСМ литография: силовая (наногравировка и наночеканка), токовая (Локальное анодное оксидирование), СТМ литография)
  • Наноманипуляции (Перемещение и ориентирование нанообъектов)

 

Сканирующая Зондовая Микроскопия
Только на воздухе: СТМ/ МСМ/ ЭСМ/ СЕМ/ Метод Зонда Кельвина/ Отображение Сопротивления Растекания/ AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Токовая), СТМ/
Технические характеристики
Тип сканирования
Сканирование образцом Сканирование зондом*
Размер образца До 40 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту
Вес образца До 100 г До 300 г
XY позиционирование образца 5×5 мм
Разрешение позиционирования разрешение — 5 мкм
минимальное перемещение — 2 мкм
Поле сканирования 100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм
100x100x10 мкм
50x50x5 мкм
До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)
Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)
0.1% 0.15%
Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)
С датчиками 0.04 нм (типично),
0.06 нм
0.06 нм (типично),
0.07 нм
Без датчиков 0.03 нм 0.05 нм
Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)
С датчиками 0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)
0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)
Без датчиков 0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)
0.01 нм (XY 50 мкм),
Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)
±0.5% ±1.2%
Система видеонаблюдения Оптическое разрешение 1 мкм
(0.4 мкм по требованию,
NA 0.7)****
3 мкм
Поле зрения 4.5-0.4 мм 2.0-0.4 мм
Непрерывный зум возможно возможно
Виброизоляция Активная  0.7-1000 Гц
Пассивная выше 1 кГц

Может быть полезно:

DVIA-T

Система DVIA-T является высокоэффективной платформой для подавления вибраций в […]

Запрос цены Подробнее
SPECTRA Full

SPECTRA – это уникальная интеграция атомно-силового микроскопа с конфокальной […]

Запрос цены Подробнее
NTEGRA MFM

NTEGRA MFM  –  это Сканирующий Зондовый Микроскоп ориентированный на […]

Запрос цены Подробнее

Описание методик

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ)

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ) [1, 2] является эффективным средством исследований […]


Микроскопия пьезоотклика (АСМ)

Основная идея Силовой Микроскопии Пьезоотклика заключается в локальном воздействии […]


Амплитудно-модуляционная АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Сканирующей Зондовой Микроскопии впервые было предложено Биннигом [1]. […]


Метод отображения Фазы АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Атомно-силовой микроскопии впервые было предложено […]


Научные результаты на обору­довании

Магнитооптические, структурные и поверхностные свойства (Bi, Ga)-замещенных DyIG пленок, полученных реактивно-ионным распылением.

Зависимости магнитооптических, структурных и морфологических свойств наноразмерных (Bi, Ga) […]


Микрораман. Измерение механического напряжения в кремнии

  Механическое напряжение может оказывать прямое или косвенное влияние […]


Автоматический поиск тонкодисперсных золотых фаз в слабо минерализованных горных породах с помощью СЭМ TESCAN с системой микроанализа AZtec Automated

При исследовании слабо минерализованных горных пород и выявлении особенностей […]


Исследование микроструктуры аустенитной нержавеющей стали с помощью детектора прошедших электронов TESCAN

Основными преимуществами сталей аустенитного класса являются их высокие служебные […]


Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы