Описание NTEGRA AURA

NTEGRA Aura  –  это Сканирующий Зондовый Микроскоп для работы в условиях контролируемой атмосферы или низкого вакуума. В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность, надежность и достоверность в измерениях слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10^-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности. При дальнейшем увеличении вакуума величина добротности быстро выходит на плато и изменяется минимально.

Таким образом, NTEGRA Aura представляет собой оптимальное соотношение затрат и качества: по сравнению с высоковакуумными комплексами, существенно меньшим оказывается время, необходимое для достижения необходимого уровня вакуума — вакуум, обеспечивающий десятикратное увеличение добротности, достигается всего за 1 минуту! При этом весь комплекс оказывается компактным, относительно простым в эксплуатации и обслуживании.

Как представитель платформы NTEGRA, NTEGRA Aura оснащена емкостными датчиками обратной связи по всем трем координатным осям, оптикой с разрешением до 1 мкм и возможностью проведения измерений в более чем 40 методиках. За счет открытой архитектуры функциональность NTEGRA Aura может быть существенно расширена. Это могут быть измерения с внешним магнитным полем (как горизонтальным до +/- 0,2 Т, так и вертикальным +/- 0,02 Т), высокотемпературные исследования (нагревание до 300 °С с точностью поддержания температуры 0,05 °С) и т.д.

Моторизированная измерительная головка

ПРИМЕНЕНИЕ:

• Магнитные Материалы (Доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля)
• Полупроводники (Морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев)
• Запоминающие среды и устройства (CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи)
• Наноэлектроника (Квантовые точки)
• Нанообработка (АСМ литография: силовая (наногравировка и наночеканка), токовая (Локальное анодное оксидирование), СТМ литография)
• Наноманипуляции (Перемещение и ориентирование нанообъектов)

Оборудование поверено и внесено в Государственный реестр средств измерений (Госреестр СИ), номер записи 84445-22.