Описание uSTEP300

Профилометр uSTEP 300 — универсальная платформа с взаимодополняющими функциональными модулями, позволяющими совместить три разных типа профилометров в одном приборе. Таким образом, на базе uSTEP 300 могут быть реализованы как зондовые, так и бесконтактные способы анализа шероховатости, электрических и физико-химических свойств поверхности больших образцов (диаметр до 300 мм), и шероховатостью до 2.7 Å. uSTEP 300 оснащен подвижным столиком с точностью перемещения вплоть до 25 нм в латеральной плоскости, что позволяет получать трехмерные карты в автоматическом режиме в заданных областях.

Уникальная конструкция профилометра uSTEP 300 позволяет работать с образцами толщиной до 20 мм и диаметром от 25 до 300 мм. Вакуумная фиксация пластин и встроенная виброизоляция на пневматических опорах снижают влияние механических вибраций.

Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ. Для дополнительного снижения вибрационного воздействия система может быть оснащена модулем активной виброзащиты, работающим в диапазоне частот 1–200 Гц с временем отклика порядка 0.5 мс.

Особенности и преимущества uSTEP 300

• Возможность анализировать образцы с разным перепадом по высоте от моноатомных ступеней до развитого микрометрового рельефа.
• Новое поколение электроники с низким уровнем шумов обеспечивает исследование шероховатости с точностью до 2.7 Å.
• Моторизованный позиционер большого размера позволяет исследовать образцы с диаметром до 300 мм.
• Точность позиционирования в латеральной плоскости 25 нм.
• Монолитная конструкция основания профилометра снижает влияние паразитных шумов в полосе частот выше 200 Гц на 30 дБ.
• Удобное и простое в использовании программное обеспечение, открывающее возможности к быстрым потоковым измерениям при межоперационном контроле.
• Низкая нагрузка на образец весом 0.03 – 10 мг, что позволяет деликатно работать с исследуемыми материалами без повреждения поверхности.
• Встроенная вспомогательная оптика включает в себя моторизированную систему управления фокусом, увеличением и перемещением в латеральной плоскости.
• Для сокращения влияния дрейфа и теплового шума система может быть дополнена термостабилизирующим шкафом.