Описание GVC-5000

GVC-5000 – это флагманское решение в линейке устройств для нанесения тонких пленок. Устройство представляет из себя компактную настольную систему, имеющую процессную камеру, выполненную из борсиликатного стекла, в которой располагается образец. Устройство может работать как в режиме магнетронного напыления металла, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Установка также имеет систему защиты от предельных давлений (сброс давления с помощью установленного напускного клапана) и защиту при превышении допустимого тока распыления.

Особенности системы:

• Комбинированная система, работающая как в режиме магнетронного напыления, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий.
• Переключение одной клавишей между двумя режимами.
• Специальная конструкция установки, позволяющая избежать перекрестного загрязнения при переключении в два разных режима.
• Микропроцессорная система управления для точного контроля параметров технологического процесса (показания давления вакуума в реальном времени, тока распыления, времени распыления, времени работы оборудования и т.д.
• 7ти дюймовый цветной сенсорный экран.
• Два режима работы: непрерывный и импульсный нагрев.
• Встроенные функции защиты оборудования по перегрузки по току, превышения вакуума.