Описание Автоэмиссионный СЭМ HR5000X

Сканирующий электронный микроскоп HR5000X представляет собой флагманскую модель высокого разрешения с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений с максимальным разрешением в широком диапазоне ускоряющих напряжений от 0,02 кВ до 30 кВ. Конструкция микроскопа основана на оптимизированной электронно-оптической технологии, которая снижает общие аберрации на 30% и обеспечивает рекордные характеристики визуализации при увеличении до 2 500 000×.

Данная схема, включающая технологию «Dual Beam Deceleration», минимизирует хроматические и сферические аберрации объективной линзы, что позволяет достигать разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Эта возможность открывает прямой путь к исследованию наноструктурных материалов и полупроводниковых структур с минимальным радиационным повреждением. Стабильность и воспроизводимость работы гарантируется прецизионной системой стабилизации электронного пучка.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

• Внутрилинзовый детектор электронов (In-lens) обеспечивает получение изображений с сверхвысоким разрешением и контрастом по топографии на малых полях.

In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей

• Детектор вторичных электронов (SE) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности.

Детектор SE: объемная передача морфологии

• В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), детектор для режима сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СТЭМ) для анализа ультратонких срезов, детектор низкого вакуума (LVD) для работы с гидратированными образцами, а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы)

Автоматизация и расширяемость платформы

Платформа HR5000X отличается высокой степенью автоматизации. 5-осевой механический эвцентрический предметный столик обеспечивает перемещение по осям X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм с наклоном от -10° до +70° и вращением 360°, что позволяет исследовать образцы сложной геометрии под оптимальным углом.

Для повышения эффективности работы опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов, которая минимизирует загрязнение вакуумной камеры. Управление микроскопом осуществляется через интуитивный интерфейс под операционной системой Windows, поддерживающий автоматическую фокусировку, стигматор и яркость/контраст.

 

 

ПО AutoMap

Микроскоп также поддерживает специализированное программное обеспечение для автоматического панорамирования (AutoMap) и анализа частиц и пор, что позволяет проводить масштабные морфометрические исследования.

Примеры применения

Мезопористый кремнезем 1 кВ (Duo-Dec) / линза	Анодированная алюминиевая пластина 10 кВ / Инленс

Микросхема IC 5 кВ / BSED-COMP	Разделы почек 5 кВ / BSED-COMP

Никелевая пена 2 кВ / ETD-SE	Сапфир Субстрат 5кВ / ETD-SE

Частицы золота 1 кВ / Инленс	Фоторезист 2 кВ / ETD-SE