Лазерный ручной эллипсометр MUL-LM - ЭМТИОН
Лазерный ручной эллипсометр MUL-LM

Китай

Ручной лазерный эллипсометр с фиксированной длиной волны 632.8 нм

Описание Лазерный ручной эллипсометр MUL-LM

 

Лазерный эллипсометр MUL-LM – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Прибор предназначен для использования в учебных, научно-исследовательских лабораториях и на производствах, где требуется гибкость и прямое управление оператора.

 

Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления *n* и коэффициента экстинкции *k*. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов. Базовая конфигурация ориентирована на ручное размещение образцов и управление.

 

 

 

Фото программного обеспечения системы

 

 

Особенности лазерного эллипсометра MUL-LM

 

  • Ручное управление: Конфигурация ориентирована на прямое взаимодействие оператора с прибором, что идеально для обучения и исследовательских задач.

  • Высокая точность: измерение толщины — от 0.1 нм, показателя преломления — от 0.001.

  • Высокая скорость точечного измерения — около 1 секунды, с возможностью оптимизации.

  • Оптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.

  • Современный пользовательский интерфейс, упрощающий проведение измерений и анализ данных.

  • Ручной столик для размещения образца.

  • Ручной гониометр с плавной регулировкой угла падения в диапазоне 40° – 90°.

  • Возможность опционального оснащения системой позиционирования (камера + автофокус).

 

 

Опции

 

 

Характеристика MUL-M MUL-A MUL-LM   MUL-LA
Краткое описание Спектральный эллипсометр Одноволновый лазерный эллипсометр
Автоматический столик Нет Да Нет Да
Камера с автофокусом и объективом Нет Да Нет Да
Опции расширения спектра BASE: 350 – 1050 нм

UV: 245 – 1050 нм
EUV: 193 – 1050 нм

BASE: 350 – 1050 нм

UV: 245 – 1050 нм
EUV: 193 – 1050 нм
NIR-EUV: 193 – 1690 нм

Фиксированная длина волны: 632.8 нм
Микро-пятно (Micro Spot) 30 мкм

(стандарт 200 мкм)

30 мкм

(стандарт 200 мкм)

Модель MUL LM
Измеряемые параметры Эллипсометрические углы Ψ и Δ, толщина пленки (d), показатель преломления (n)
Точность измерения Толщина: 0.1 нм, Показатель преломления: 0.001
Длина волны источника 632.8 нм (гелий-неоновый лазер)
Оптическая компенсация Один компенсатор (одна компенсирующая пластина)
Оптическое детектирование Автоматическая регулировка усиления
Скорость измерения (одна точка) ~1 секунда
Опции Микро-пятно (Micro Spot): 30 мкм;

Столик для образцов: 4, 6, 8, 12 дюймов.

Может быть полезно:

Спектральный ручной эллипсометр MUL-M

  Спектральный эллипсометр MUL-M – это высокоточный и быстрый […]

Запрос цены Подробнее
Спектральный автоматический эллипсометр MUL-A

  Автоматический спектральный эллипсометр MUL A – это высокоточный […]

Запрос цены Подробнее
Измеритель толщины пленок EH100

  EH100 – это прибор общего назначения для измерения […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы