Безмасковая литография в демо-лаборатории «ЭМТИОН»

 

Компания «ЭМТИОН» продолжает расширять возможности для знакомства с передовым исследовательским оборудованием. Мы рады сообщить, что в нашей демонстрационной лаборатории в г. Зеленоград теперь представлена система безмасковой лазерной литографии Litho MaskLess (производства Ю. Корея).

 

Это компактный настольный конфигурируемый литограф, совмещенный непосредственно с оптическим микроскопом (совместим с Olympus, Nikon, Thorlabs и др.), превращая его в мощный инструмент для микроструктурирования. Главная особенность Litho MaskLess — полный отказ от использования традиционных фотомасок, что радикально ускоряет и удешевляет процесс создания прототипов и экспериментальных образцов.

 

 

Как это работает?

 

В основе системы лежит технология динамических масок на базе микрозеркального чипа DMD (Digital Mirror Device) с разрешением 1920×1080 пикселей. Изображение будущего рисунка (в формате PNG, BMP или JPG) проецируется на поверхность подложки, покрытой фоторезистом, с помощью УФ-излучения (доступны длины волн 365, 385 или 405 нм).

 

Этот подход открывает новые возможности для исследований:

 

• Быстрая итерация: изменение рисунка занимает секунды — достаточно загрузить новый файл.

• Экономия средств: не требуется изготавливать дорогостоящие фотомаски, система проста в обслуживании и раюоте.

• Компактность: система монтируется на существующий микроскоп и не требует дополнительного пространства.

• Гибкость: поддержка не только бинарных, но и градационных (grayscale) шаблонов для создания 2.5D-структур.

 

 

Технологии для точности и удобства

 

Разработчики оснастили Litho MaskLess двумя ключевыми технологиями, повышающими качество и воспроизводимость результатов:

 

• AIUniBeam™ — интеллектуальная система коррекции неравномерности пучка. Искусственный интеллект анализирует распределение интенсивности и в реальном времени подстраивает яркость каждого пикселя DMD, обеспечивая равномерность экспонирования более 90%.

• EasyALIGN™ — программный инструмент для точного совмещения. Система накладывает виртуальный шаблон будущего рисунка на изображение с камеры микроскопа, что позволяет идеально позиционировать структуры при многослойной литографии или работе с уже структурированными подложками.

 

 

Основные характеристики

 

• Генератор изображений: 0.65″ DMD (1920×1080 пикс.)

• Длина волны: 365 / 385 / 405 нм

• Интенсивность экспозиции: до 1.3 Вт/см²

• Равномерность: >90% (с технологией AIUniBeam)

• Разрешение (зависит от объектива): до 0.62 мкм (с объективом 100x)

• Максимальная область экспонирования: 2903×1633 мкм (с объективом 5x)

 

Фото демо системы Litho Maskless

 

Демонстрация возможностей безмасковой литографии

 

Лазерный литограф Litho MaskLess уже установлен в нашей демо-лаборатории. Это отличная возможность для специалистов в области микроэлектроники, фотоники, материаловедения и биоинженерных технологий оценить преимущества безмасочной лазерной литографии.

 

Приглашаем вас посетить лабораторию «ЭМТИОН» в Зеленограде, чтобы:

 

• Увидеть процесс экспонирования и проявления своими глазами.

• Протестировать систему на своих собственных образцах и фоторезистах.

• Оценить точность нанесения литографического рисунка через программное обеспечение EasyALIGN.

• Обсудить ваши конкретные задачи с нашими инженерами.

 

 

Для организации визита и выбора удобного времени, пожалуйста, оставьте заявку на сайте, и наши специалисты свяжутся с Вами!

 

Компания ЭМТИОН осуществляет производство и поставку исследовательского лабораторного и технологического оборудования. Собственное производство компании сосредоточено в г. Зеленоград (Москва). Производство компаний партнеров расположено в Российской Федерации, Республике Беларусь и Азиатском регионе.