Описание Вольфрамовый СЭМ HR2100

Сканирующий электронный микроскоп HR2100 представляет собой компактный прибор с вольфрамовой нитью накала, предназначенный для рутинных исследований микроструктуры материалов с акцентом на простоту использования. Микроскоп отличается упрощённым рабочим процессом и соответствует отраслевым стандартам благодаря интуитивному дизайну пользовательского интерфейса.

Ключевая особенность HR2100 — концепция «Простота без ущерба для функциональности». Несмотря на минималистичный программный интерфейс, микроскоп предоставляет полный набор автоматизированных функций, инструментов для измерения и аннотирования, возможностей управления постобработкой изображений и оптической навигации. Это делает HR2100 оптимальным выбором для образовательных учреждений и лабораторий с высоким потоком рутинных образцов.

Электронная оптика и принцип работы

Вольфрамовая нить накала обеспечивает стабильную эмиссию электронов при значительно более низкой стоимости эксплуатации по сравнению с полевыми эмиссионными источниками. Микроскоп достигает разрешения 3 нм при 20 кВ (сигнал вторичных электронов) и 4 нм при 20 кВ (сигнал обратнорассеянных электронов), что достаточно для большинства задач контроля качества и образовательных применений.

Электронно-оптическая колонна HR2100

Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0,2 кВ до 30 кВ позволяет адаптировать условия наблюдения под различные типы образцов. Увеличение до 300 000× покрывает широкий спектр задач — от общего обзора поверхности до детального изучения микроструктуры.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

• Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) регистрирует сигнал вторичных электронов (SE) и является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности с высокой глубиной резкости.

Детектор ETD: объемная передача морфологии поверхности

• В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

Автоматизация и расширяемость платформы

Платформа HR2100 отличается высокой степенью автоматизации. Улучшенные функции автоматической регулировки яркости и контрастности, автоматической фокусировки и автоматической коррекции астигматизма позволяют получать качественные изображения одним щелчком, что сокращает время обучения операторов.

Автоматическая фокусировка: до и после

Интеллектуальная вспомогательная коррекция астигматизма изображения — в этом режиме значение астигматизма по осям X и Y меняется в зависимости от пикселя. Чёткость изображения достигается при оптимальном значении астигматизма, что позволяет быстро настроить стигматор даже неопытному оператору.

Интеллектуальная коррекция астигматизма

3-осевой моторизованный предметный столик обеспечивает перемещение по осям X, Y, Z с диапазоном XY=125 мм и Z=50 мм. Компактная конструкция столика оптимизирована для рутинных задач, где не требуется наклон или вращение образца.

Оптическая навигация с вертикально установленной камерой позволяет получать оптические изображения для интуитивного и точного позиционирования образца перед началом электронно-микроскопического исследования. Двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса.

Опционально предусмотрены автоматическая шлюзовая камера для образцов и панель управления с трекболом и поворотными регуляторами для повышения эргономичности работы оператора.

Примеры применения

Разрушение металла, 20 кВ / ETD	Печатная плата (автомобильный свет), 10 кВ / BSED

Микросхема, 15 кВ / BSED	Никель-палладий, 15 кВ / ETD

Тройной катодный прекурсор, 15 кВ / ETD	Сухая растягивающая диафрагма, 3 кВ / ETD