Описание Установка ориентации монокристаллов MT-7BGA

Рентгеновская система контроля монокристаллов МТ-7ВGA представляет собой высокоточное оборудование, специально разработанное для контроля ориентации кристаллографических осей производимых и исследуемых монокристаллических подложек. Комплекс обеспечивает точное определение качества изготовления монокристаллических материалов и выявление отклонений от заданных кристаллографических параметров.

Назначение и принцип работы

Основное назначение системы – достоверный контроль кристаллографической ориентации и оценка монокристальности образцов. Оборудование выявляет отклонение ориентации основного кристалла от номинальных значений и определяет наличие разноориентированных кристаллитов в структуре материала.

Принцип работы основан на рентгеновской дифракции. Медная рентгеновская трубка генерирует излучение, которое, попадая на кристалл, отражается под определенными углами в зависимости от его атомной структуры. Высокочувствительный сцинтилляционный детектор улавливает отраженные лучи, а оператор, вращая образец, вручную находит положение максимальной интенсивности (пик), которое соответствует главной кристаллографической оси.

Ключевые особенности

Установка обладает рядом отличительных особенностей. Она поддерживает множество типов измерительных столов и держателей, что обеспечивает исключительную гибкость при работе с образцами нестандартных размеров и выполнении специальных измерительных задач. В базовую комплектацию входит универсальный столик с возможностью наклона ±15°, а также набор специализированных держателей для булей и пластин, включая уникальный V-образный роликовый механизм для контроля ориентации по цилиндрической поверхности слитка и двухкоординатный держатель для торцевой поверхности. Диапазон измеряемых углов 2θ составляет от 0° до +120°, что позволяет работать с широким спектром кристаллографических плоскостей.

Для гарантии точности измерений система поставляется со стандартными образцами (кварцевыми пластинами), которые используются для периодической поверки и калибровки оборудования. Конструкция прибора, несмотря на возможность ручного управления, включает в себя современный человеко-машинный интерфейс на основе сенсорного дисплея для отображения результатов и настроек.

Опции

• Большой столик. Предназначен для работы со слитками длиной от 100 до 300 мм, а также для измерения поверхности пластин. Подходит для монокристаллов кремния, сапфира, ниобата и танталата лития, арсенида галлия и других кристаллов среднего размера.

• Малый столик. Предназначен для работы с малыми слитками длиной до 100 мм и измерения поверхности пластин. Оптимален для работы с карбидом кремния, ниобатом и танталатом лития, нитридом галлия и другими малыми кристаллами.

• Керамическая пластина. Специализированный держатель для измерения торцевой поверхности пластин. Отличается износостойкостью и подходит для работы с кварцевыми пластинами и лазерными кристаллами.

• Держатель для ориентационного среза. Позволяет точно измерять ориентационный срез на монокристаллических пластинах различных типов.

• Наклонный столик. Столик для образцов с возможностью наклона в диапазоне ±15°. Необходим для измерения арсенида галлия, монокристаллического германия, ниобата и танталата лития и других кристаллов.