Описание Стилусный профилометр серии StylScan XL

Стилусный профилометр StylScan XL — это промышленный зондовый измеритель, предназначенный для 2D/3D-сканирования крупногабаритных образцов с вертикальным разрешением до 0.1 нм и горизонтальным — 10 нм. Модель разработана для интеграции в автоматизированные производственные линии, контроля качества полупроводниковых пластин, оптических компонентов и изделий из металлов, полимеров и композитов.

Зондовый профилометр StylScan XL поддерживает бесшовное сканирование длиной до 55 мм без прерывания. Автоматизированный моторизованный столик позволяет работать с образцами диаметром до 300 мм и толщиной до 10 мм. Встроенная система виброизоляции и прецизионный контроль усилия стилуса (0.5–50 мг) обеспечивают стабильность измерений даже в условиях промышленных вибраций. Ближайшие аналоги — профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep.

Стилусный профилометр StylScan XL поставляется с ПО для анализа 3D-топографии, дефектоскопии и контроля микрорельефа. Поддерживается интеграция с SMIF-манипуляторами, EFEM-модулями и интерфейсом E84 для автоматизации процессов в чистых помещениях и производственных комплексах.

Особенности стилусного профилометра серии StylScan XL:

• Автоматизированная загрузка образцов диаметром до 300 мм.
• 2D/3D-сканирование с разрешением 0.1 нм (вертикаль), 10 нм (горизонталь).
• Моторизованный столик с ходом 200+ мм по XY, 10+ мм по Z.
• Встроенная пассивная виброизоляция и система контроля усилия стилуса.
• Анализ шероховатости, толщины пленок, деформаций, микротрещин и царапин.
• Плоскостность сканирования — менее 20 нм в пределах 2 мм.