Описание Стилусный профилометр серии StylScan M

Стилусный профилометр StylScan M — это высокоточный зондовый измеритель, предназначенный для 2D/3D-сканирования образцов с вертикальным разрешением до 0.1 нм и горизонтальным — 10 нм. Модель идеально подходит для анализа профиля поверхности полупроводниковых пластин, оптических компонентов и других материалов в условиях промышленного производства и научных исследований. Прибор используется в микроэлектронике, аэрокосмической отрасли, энергетике, а также для контроля качества в металлообработке и материаловедении.

Зондовый профилометр StylScan M обладает функцией бесшовного сканирования поверхности (размер до 55 мм). Моторизованный столик позволяет размещать образцы диаметром до 300 мм и толщиной до 10 мм. Встроенная высокоточная система контроля нажатия стилуса обеспечивает превосходную линейность и вертикальное разрешение до 0.1 нм. Ближайшие аналоги StylScan M — стилусные профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep и другие.

Стилусный профилометр StylScan M оснащен встроенной пассивной виброизоляцией, что гарантирует стабильность измерений даже в условиях промышленных вибраций. Прибор поставляется с расширенным ПО для анализа 3D-топографии, дефектоскопии и контроля микрорельефа. Доступны опции для интеграции в чистые помещения (FFU-модуль) и автоматизированные линии.

Особенности стилусного профилометра серии StylScan M:

• Быстрый неразрушающий замер 2D/3D-текстуры образца.
• Измерение шероховатости, кривизны, толщины пленок, анализ дефектов (трещины, сколы, царапины).
• Моторизованный столик для образцов диаметром до 300 мм и толщиной до 10 мм.
• Бесшовное сканирование до 55 мм без прерывания и сшивки профилей.
• Система контроля усилия стилуса (0.5–50 мг) с постоянной обратной связью.
• Вертикальное разрешение до 0.1 нм, горизонтальное — 10 нм.
• Плоскостность сканирования — менее 20 нм в пределах 2 мм.