Описание Стилусный профилометр JS300C

Стилусный профилометр JS300C — это промышленный зондовый измеритель, предназначенный для 2D/3D-сканирования крупногабаритных образцов с вертикальным разрешением до 0.05 нм. Модель разработана для интеграции в автоматизированные производственные линии, контроля качества полупроводниковых пластин, оптических компонентов и изделий из металлов, полимеров и композитов.

Зондовый профилометр JS300C поддерживает бесшовное сканирование длиной до 55 мм без прерывания. Автоматизированный моторизованный столик позволяет работать с образцами диаметром до 200 мм и толщиной до 50 мм. Встроенная система виброизоляции и прецизионный контроль усилия стилуса (0.5–50 мг) обеспечивают стабильность измерений даже в условиях промышленных вибраций. Отличие этой модели от модели JS10C заключается в наличие виброплатформы выполненной из гранитной плиты. Ближайшие аналоги JS300C — профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep.

Стилусный профилометр JS300C поставляется с ПО для анализа 3D-топографии, дефектоскопии и контроля микрорельефа. Поддерживается интеграция с SMIF-манипуляторами, EFEM-модулями и интерфейсом E84 для автоматизации процессов в чистых помещениях и производственных комплексах.

Особенности стилусного профилометра серии JS300C:

• Автоматизированная загрузка образцов диаметром до 300 мм.
• 2D/3D-сканирование с разрешением 0.05 нм (вертикаль)
• Моторизованный столик с ходом 300+ мм по XY, 10+ мм по Z.
• Встроенная пассивная виброизоляция и система контроля усилия стилуса.
• Анализ шероховатости, толщины пленок, деформаций, микротрещин и царапин.
• Плоскостность сканирования — менее 20 нм в пределах 2 мм.