Описание Стилусный профилометр JS300C

Стилусный профилометр JS300C — это промышленный зондовый измеритель, предназначенный для 2D/3D-сканирования крупногабаритных образцов с вертикальным разрешением до 0.05 нм. Модель разработана для интеграции в автоматизированные производственные линии, контроля качества полупроводниковых пластин, оптических компонентов и изделий из металлов, полимеров и композитов.

Зондовый профилометр JS300C поддерживает бесшовное сканирование длиной до 55 мм без прерывания. Автоматизированный моторизованный столик позволяет работать с образцами диаметром до 200 мм и толщиной до 50 мм. Встроенная система виброизоляции и прецизионный контроль усилия стилуса (0.5–50 мг) обеспечивают стабильность измерений даже в условиях промышленных вибраций. Отличие этой модели от модели JS10C заключается в наличие автоматизированного столика образцов, функции 3D сканирования и анализа топографии, наличия виброоснования на базе гранитной плиты и расширенных портов доступа для управления системой. Ближайшие аналоги JS300C — профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep.

Воспроизводимость измерения высоты <0.5 нм (при измерении ступени 1 мкм (1σ) при сканировании до 30 раз)

Стилусный профилометр JS300C поставляется с ПО для анализа 3D-топографии, дефектоскопии и контроля микрорельефа. Поддерживается интеграция с SMIF-манипуляторами, EFEM-модулями и интерфейсом E84 для автоматизации процессов в чистых помещениях и производственных комплексах. Также доступны опции для интеграции в чистые помещения (FFU-модуль),  автоматизированные линии и стилусные зонды разной конфигурации с алмазным наконечником.

Диаметр скругления зонда ≤ 1 мкм	Диаметр скругления зонда ≥ 2 мкм

Особенности стилусного профилометра серии JS300C:

• Быстрый неразрушающий замер 2D/3D-текстуры образца.
• Измерение шероховатости, кривизны, толщины пленок, анализ дефектов (трещины, сколы, царапины).
• Моторизованный столик для образцов диаметром до 300 мм и толщиной до 50 мм.
• Бесшовное сканирование до 55 мм без прерывания и сшивки профилей.
• Система контроля усилия стилуса (0.5–50 мг) с постоянной обратной связью.
• Вертикальное разрешение до 0.05 нм.
• Плоскостность сканирования — менее 20 нм в пределах 2 мм.

Опции:

• Расширенный ЗИП набор (набор опциональных зондов, сервисный набор).
• Тестовая пластина (проверка плоскостности сканирования).
• ИБП On-line типа (время автономной работы: 5 мин.).
• Опция сканирования мотором (для объектов высотой до 1мм).
• Опциональное продвинутое метрологическое (анализ профилей и поверхностей, частиц, вычитание шероховатости и др.)

Примеры применения:

Контроль толщины слоя металлизации

Контроль нанесения фоторезиста

Анализ толщины пленки

Внешний вид измерительного ПО:

Интерфейс контрольной CCD камеры

Процесс измерения 2D профиля

Анализ 3д топографии

Стилусный профилометр серии JS представлен в демонстрационной лаборатории нашей компании. Вы можете ознакомиться с работой профилометра в действии и оценить его ключевые преимущества на практике.

О производителе:

Компания ЭМТИОН является официальным дистрибьютором ZEP TOOLS (КНР). Компания ZEP TOOLS с 1990-ых годов занимается производством и поставками высокотехнологичного научного оборудования. Основная специализация компании – производство и поставки сканирующих электронных микроскопов (термо- и автоэмиссионные системы), а также высокоразрешающих стилусных 2D/3D профилометров.

О компании:

ЭМТИОН — это российская компания, специализирующаяся на разработке и производстве аналитического и технологического оборудования. Нашей миссией является создание в России технологического задела в области научного приборостроения для решения научных и производственных задач в области микроэлектроники, нанотехнологий и биотехнологий. Специалисты компании имеют 15-летний опыт в разработках, производстве и поставках аналитического и технологического оборудования. Предлагаемое нашей командой оборудование является не только основой технологического прогресса Российских ученых, но и успешно конкурирует на западных рынках с ведущими мировыми производителями.
ЭМТИОН предоставляет заказчикам как отдельные решения, так и производит оснащение лабораторий под ключ, начиная с этапов проработки концепции и предпроектных работ и заканчивая вводом оборудования в эксплуатацию.