ZepTools
Бесшовное сканирование до 55 мм. Размер образцов до 150 мм.
Стилусный профилометр JS10С — это высокоточный зондовый измеритель, предназначенный для 2D-сканирования образцов с высоким разрешением, а также измерения напряжения в пленках и других тонких образцах. Модель идеально подходит для измерения профиля поверхности полупроводниковых пластин в контактном режиме в микроэлектронике (контроль шероховатости, измерение краевых эффектов и др.). Прибор можно использовать как при работе в исследовательских лабораториях, так и для образовательных учреждений. Устройство подойдёт также для проведения измерений в высокоточной механике, анализа изделий после металлообработки и других задач.
Зондовый профилометр JS10С обладает уникальной функцией бесшовного сканирования поверхности (размер до 55 мм). Ручной столик позволяет размещать пластины и другие образцы диаметром до 150 мм. Встроенная высокоточная система контроля нажатия стилуса обеспечивает превосходную линейность и максимально возможное вертикальное разрешение до 0.05 нм. Отличие напольной системы JS100C от модели JS10C заключается в наличие автоматизированного столика образцов, функции 3D сканирования и анализа топографии, наличия виброоснования на базе гранитной плиты и расширенных портов доступа для управления системой. Ближайшие аналоги JS10C— стилусные профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep и другие.
Ближайшие аналоги JS10С — стилусные профилометры KLA Tencor, Taylor Hobson, Bruker Alphastep и другие.
Воспроизводимость измерения высоты <0.5 нм (при измерении ступени 1 мкм (1σ) при сканировании до 30 раз)
Стилусный профилометр JS10С имеет опциональную пассивную систему виброизоляции, которая повышает точность измерений в условиях вибраций. Профилометр опционально поставляется с программным обеспечением, позволяющим легко анализировать полученные данные. Также доступны опции для интеграции в чистые помещения (FFU-модуль), автоматизированные линии и стилусные зонды разной конфигурации с алмазным наконечником.
![]() |
![]() |
Диаметр скругления зонда ≤ 1 мкм |
Диаметр скругления зонда ≥ 2 мкм |
![]() |
Контроль толщины слоя металлизации |
![]() |
Контроль нанесения фоторезиста |
![]() |
Анализ толщины пленки |
![]() |
Интерфейс контрольной CCD камеры |
![]() |
Процесс измерения 2D профиля |
Стилусный профилометр серии JS представлен в демонстрационной лаборатории нашей компании. Вы можете ознакомиться с работой профилометра в действии и оценить его ключевые преимущества на практике.
Компания ЭМТИОН является официальным дистрибьютором ZEP TOOLS (КНР). Компания ZEP TOOLS с 1990-ых годов занимается производством и поставками высокотехнологичного научного оборудования. Основная специализация компании – производство и поставки сканирующих электронных микроскопов (термо- и автоэмиссионные системы), а также высокоразрешающих стилусных 2D/3D профилометров.
ЭМТИОН — это российская компания, специализирующаяся на разработке и производстве аналитического и технологического оборудования. Нашей миссией является создание в России технологического задела в области научного приборостроения для решения научных и производственных задач в области микроэлектроники, нанотехнологий и биотехнологий. Специалисты компании имеют 15-летний опыт в разработках, производстве и поставках аналитического и технологического оборудования. Предлагаемое нашей командой оборудование является не только основой технологического прогресса Российских ученых, но и успешно конкурирует на западных рынках с ведущими мировыми производителями.
ЭМТИОН предоставляет заказчикам как отдельные решения, так и производит оснащение лабораторий под ключ, начиная с этапов проработки концепции и предпроектных работ и заканчивая вводом оборудования в эксплуатацию.
Модель стилусного профилометра |
JS10C |
||
Повторяемость измерения |
≤ 0.5 нм (1 σ, 30 сканов эталона 1 мкм) |
||
Макс. диапазон измерения |
160 мкм |
||
Вертикальное разрешение |
0.05 нм |
||
Конструкция |
Настольная |
||
Максимальный размер образцов |
⌀ 150 мм |
||
Толщина образца |
50 мм |
||
Тип контроля столика |
Ручное управление (X/Y, поворот) |
||
Поворотный столик (Rθ) |
±360° |
||
Максимальная длина сканирования |
55 мм |
||
Скорость сканирования |
5 мкм/с ~ 100 мкм/с |
||
Усилие давления стилуса |
0.5 ~ 50 мг (постоянный контроль) |
||
Макс. количество точек сканирования |
2 000 000 точек |
||
Направление сканирования |
Двунаправленное (влево-вправо) |
||
Зонд |
Стандартный (Радиус закругления ≥ 2 мкм, угол 60°) |
||
Частота съема данных (АЦП) |
200 Гц |
||
Программное обеспечение |
Измерение ступеней, шероховатости, плоскостности, коробления, 3D-измерения, измерение напряжений |
||
Комплектация |
– стилусный профилометр; – управляющий ПК и ПО; – набор зондов; – ИБП On-line типа. |
||
Опции | Калибровочные образцы, виброплатформа |
Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW Compact – это […]
Запрос цены ПодробнееNTEGRA Academia – это конфигурация микроскопа, ориентированная для образовательного […]
Запрос цены ПодробнееKYKY ЕМ6900 – это оптимальное решение для проведения СЭМ […]
Запрос цены Подробнее