GLTech
Диапазон по Z 150 мкм (300 мкм или 10 мм опция). Автоматическое/ручное управление.
Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW Elite – это серия приборов, используемая для бесконтактного измерения изменений высоты поверхности с большой точностью в производстве и на R&D предприятиях (микроэлектроника, научные лаборатории, ВУЗы, производство электроники, оптики и др.). Приборы линейки SURFIEW основаны на принципе оптической профилометрии и позволяют производить полноценную оценку текстуры поверхности, включая замер шероховатости образца, оценку кривизны поверхности, толщины пленок и многое другое. Оптическая профилометрия, основанная на отражении светового сигнала от поверхности, позволяет измерять топографию поверхности, достигая субнанометрового разрешения по вертикали (z ось).
Оптические профилометры линейки SURFIEW позволяют измерить поверхность образца в диапазонах от нескольких десятков мкм² до нескольких мм². Измеряемый участок: от 1 нм до 10 мм, вертикальное z разрешение – вплоть до 0.1 нм. Оборудование относится к приборам неразрушающего контроля и позволяет производить измерения образца без модификации поверхности (например, в сравнении с АСМ и РЭМ методиками, где поверхность образца повреждается в результате сканирования или при предварительной пробоподготовке), причём z разрешение профилометров SURFIEW не зависит от увеличения объектива, как например, в конфокальных методах. Прибор позволяет исследовать такие материалы, как полимеры, биологические образцы, порошки, металлы, стекла и многое другое.
Параметр | 3D профилометры SURFIEW | АСМ микроскоп | СЭМ микроскоп |
Z разрешение | 0.1 нм | 0.5 нм | Только двухмерные изображения |
Поле сканирования | До 4 мм с сшивкой и до 200 мкм без сшивки | 100 X 100 мкм | 1 – 2 мм |
Вертикальный диапазон сканирования | 10 мм | 10 мкм | – |
Подготовка образца | – | – | Требуется покрытие проводимого материала |
Среда измерения | Воздух | Воздух, жидкость | Вакуум |
Сканирующие интерферометры SURFIEW основаны на WLI методике (WLI – white light interferometry или SWLI). Прибор работает за счет разложения свет излучателя в оптическом тракте прибора на 2 пучка. Первый пучок падает на образец, и , отражаясь, встречается со вторым пучком, приходящим на опорное зеркало прибора. Лучи интерферируют, разность волн отраженного и опорного пучка приводит к возникновению интерференционных полос, которые анализируются прибором.
Существуют две основные методики измерения WLI интерферометров: фазосдвигающая интерферометрия (Phase-Shifting Interferometry, PSI) и вертикальная сканирующая интерферометрия (Vertical Scanning Interferometry, VSI). SURFIEW интерферометры на базе PSI методики позволяют достичь z разрешения до 0.1 нм, на базе VSI методики – до 0.5 нм.
Серия профилометров SURFiEW Elite поставляется в трех моделях:
Опция | SURFiEW Elite 2500 | SURFiEW Elite 2700 | SURFiEW Elite 3000 |
Столик | Автоматизированный | Автоматизированный | Автоматизированный |
Револьвер объективов | Ручной | Автоматизированный | Автоматизированный |
Сканирующая голова | Ручная | Ручная | Автоматизированная |
Автосшивка | Да | Да | Да |
Автофокусировка | Нет | Нет | Да |
Cканирование мотором – это опция для измерения профиля и структуры поверхности образцов, имеющих большие перепады высот, вплоть до 10 мм. Измерение производится с помощью высокоточного шагового двигателя, установленного в дополнении к пьезосканеру профилометра, имеющим стандартный ход сканера до 200 мкм. Данная опция рекомендуется при проведении измерений профиля дорожек, переходных структур, а также отверстий, имеющих перепады высот в 150мкм и более. Опция доступна только для профилометров серий Elite, Pro, Master
Программное обеспечение Mountains®, разработанное компанией Digital Surf, является инструментом для анализа поверхности и используется в качестве стандарта в области 2D и 3D анализа текстуры поверхности и метрологии. Mountains® интегрируется с ведущими производителями приборов и микроскопов для поверхностной метрологии и используется тысячами исследовательских институтов, лабораторий и промышленных предприятий по всему миру. Данное ПО является опциональным и поставляется для профилометров Surfiew по запросу.
С помощью Mountains® можно анализировать как простые, так и сложные данные, полученные с помощью широкого спектра приборов для анализа поверхности и микроскопов. Программное обеспечение предоставляет такие возможности, как визуализация, коррекция и анализ профилей и поверхностей, вычитание шероховатости и волнистости в соответствии с ISO 16610, расчет параметров профиля и ареала ISO, извлечение функциональной и метрологической информации из данных с помощью передовых инструментов, таких как Фурье-анализ, анализ частиц, замер высоты ступеньки, подгонка формы, вейвлет-фильтрация, фрактальный анализ и т.д. Кроме того, Mountains® позволяет загружать, визуализировать и анализировать поверхности свободной формы (оболочки).
MountainsMap® – это золотой стандарт в области анализа 2D и 3D текстуры поверхности и метрологии, используемый тысячами инженеров, ученых и метрологов по всему миру. Это программное обеспечение обеспечивает надежные и точные результаты измерений и является необходимым инструментом для любого, кто занимается анализом поверхности.
Возможности программного обеспечения Mountains® включают в себя:
ПО MountainsMap® включает в себя такие инструменты как:
Технические характеристики серии SURFIEW Elite
Параметр | Elite 2500E | Elite 2700E | Elite 3000E |
Вертикальное разрешение | VSI < 0.5 нм, PSI < 0.1 нм | ||
Горизонтальное разрешение | 0.03 – 7.2 мкм (в зависимости от увеличения и камеры) | ||
Воспроизводимость измерения высоты | ≤ 0.1% при 1σ (для пьезосканера)
≤ 2% при 1σ (для опции сканирования мотором) |
||
Скорость сканирования | 16 мкм/сек (опционально 80 мкм/сек) | ||
Метод сканирования | Пьезопривод с обратной связью | ||
Диапазон сканирования | ≤ 200 мкм (сканирование пьезоприводом) или 10 мм (опция сканирование мотором) | ||
Количество объективов | До 5 (ручная турель) | До 5 (автоматизированная турель) | |
Сенсор камеры | 1/2”, одноцветная (2/3”, 1” – опция) | ||
Подсветка | Белый LED / Зеленый LED | ||
Фильтр | Видимый/полосовой фильтр (автоматическая смена) | ||
Автофокусировка | Нет | Есть | |
Программное сшивание | Да | ||
Отражательная способность образца | 0.05 – 100% | ||
Максимальный вес образца | ≤ 5 кг | ||
Диапазон перемещения предметного столика | 100 × 100 мм, моторизированный столик | ||
Диапазон перемещения сканирующей головки | 100 мм (автоматическое) | ||
Наклон столика | ± 6°, ручной наклон | ± 6°, моторизированный наклон | |
Размеры предметного столика | 230 × 230 мм | ||
Виброизоляция | Пассивный тип (вертикальный резонанс 1.5 Гц) | ||
Выбор объективов и линз*
– объективы – линзы |
5 макс. / 2.5x, 5.0x, 10x, 20x, 50x, 100x (интерференционные или оптические)
2 макс. / 0.55x, 0.75x, 1.0x, 1.5x, 2.0x (увеличительные) |
||
Размер системы | 1680мм(Д) x 870мм(Ш) x 1630мм(В) | ||
Общий вес системы | 80 кг | ||
Питание | 110 В / 220 В (± 10%), 15 А, 50/60 Гц | ||
Базовое программное обеспечение | Surface View (ПО управления профилометром)
Surface Map (ПО отображения и базового анализа изображений) |
||
Стандартная комплектация системы | – Оптический 3D профилометр.
– Стол профилометра с интегрированной системой пассивной вибророзащиты. – Металлический стол оператор. – Управляющий компьютер с монитором 27». – Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками. – Пакет программного обеспечения оператора для управления профилометром. – Пакет для обработки данных и расчета стандартных параметров (ISO). |
||
Опциональные позиции | – Программный пакет обработки данных для метрологических задач Mountains Map V10.0.
– Калибровочные образцы (проверка латерали, проверка высоты и др., в том числе по NIST эталоны). – Вращающийся вакуумный столик – Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками для управления – Дополнительные объективы (интерференционные или оптические объективы от GL-Tech, Nikon, Olympus и др.). |
Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW Pro – это […]
Запрос цены ПодробнееСканирующий интерферометр белого света SURFIEW Academy – это […]
Запрос цены ПодробнееСканирующий интерферометр белого света SURFIEW Compact – это […]
Запрос цены Подробнее