Описание Спектральные эллипсометры серии MUL

Спектральный эллипсометр серии MUL  – это высокоточный и быстрый спектроскопический прибор, предназначенный для бесконтактного анализ однослойных и многослойных структур, включая изделия на базе кремния, керамики, пленочных структур и другое. Спектральные эллипосометры MUL позволяют определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства. Широкий спектральный диапазон волн охватывает ультрафиолет, видимый и инфракрасный свет, что позволяет проводить сканирование пленок толщиной от 0,1 нм до десятков микрон (оксидные пленки, ПЭТ пленки и многое другое).

Спектроскопический эллипсометр серии MUL основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении, используемым для измерения параметров структуры слоев (например, толщины) однослойных и многослойных нанопленок, а также других их физических параметров (например, показателя преломления n, коэффициента экстинкции k или диэлектрических функций ε1 и ε2). Прибор можно использовать также для измерения оптических свойств сыпучих материалов.

Применения

• Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
• Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
• Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
• Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
• Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
• функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
• Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои , белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
• Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.

Особенности Спектрального эллипсометра серии MUL

Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.