ООО "Эмтион"
Спектральный эллипсометр. Образцы до 200 мм, спектр 193 - 2500 нм
Спектральный эллипсометр серии MUL – это высокоточный и быстрый спектроскопический прибор, предназначенный для бесконтактного анализ однослойных и многослойных структур, включая изделия на базе кремния, керамики, пленочных структур и другое. Спектральные эллипосометры MUL позволяют определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства. Широкий спектральный диапазон волн охватывает ультрафиолет, видимый и инфракрасный свет, что позволяет проводить сканирование пленок толщиной от 0,1 нм до десятков микрон (оксидные пленки, ПЭТ пленки и многое другое).
Спектроскопический эллипсометр серии MUL основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении, используемым для измерения параметров структуры слоев (например, толщины) однослойных и многослойных нанопленок, а также других их физических параметров (например, показателя преломления n, коэффициента экстинкции k или диэлектрических функций ε1 и ε2). Прибор можно использовать также для измерения оптических свойств сыпучих материалов.
Применения
Особенности Спектрального эллипсометра серии MUL
Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.
Спектральный диапазон
|
От 193 нм до 2500 нм (в зависимости от конфигурации системы) |
Угол падения | A: автоматическое изменение угла падения
30 ° -90 °, компьютерное управление и автоматическая регулировка, точность лучше 0,02 ° |
Повторяемость измерений | При стандартной толщине пленки SiO2 100 нм:
Повторяемость – 0,01 нм Точность показателя преломления оптической среды: 0,0005 |
Время однократного измерения | Измерение значений Y / D в полном спектре
Типичное время измерения 5-10 секунд |
Схема измерения | Поляризатор – Образец – Компенсатор – Поляризатор (PSCA) |
Источник света | Поляризационная призма |
Пятно измерения | Регулируемое вручную 1-4 мм |
Спектральное разрешение | УФ диапазон (-1000нм): ~1.6 нм, 2048 линий суммарно |
Предметный столик | 8 дюймов (200 мм)
Регулировка высоты 10 мм Регулировка 2D в диапазоне ± 4 °. |
Управляющее ПО | Доступные языки: Английский/Китайский |
Разделение уровней доступа | Есть (администратор/оператор) |
Измерение в ПО | · Автоматическая установка азимута оптического пути;
· Ручной/автоматический режим измерений; · Отображение спектра в стандартных единицах энергии или длин волн; · Мониторинг отклика образца, отслеживание изменений Y / D в режиме реального времени. |
KYKY ЕМ6900 LV – это оптимальное решение для проведения […]
Запрос цены Подробнее