ООО "Эмтион"
Спектральный эллипсометр. Образцы до 200 мм, спектр 190 - 2500 нм
Спектральные эллипсометры серии MUL – это серия полностью автоматических высокоточных матричных эллипсометров. Приборы MUL позволяют проводить бесконтактный анализ однослойных и многослойных структур, включая изделия на базе кремния, керамики, пленочных структур и др. Спектральные эллипосометры MUL предназначены для определения толщины тонкопленочных образцов и их оптических свойств на основе метода Мюллера. Система позволяет определять такие параметры, как коэффициент преломления, показатель поглощения и др. Запатентованная технология компенсаторов и система синхронного управления двойным повортным устройством позволяет использовать эллипсометр MUL при измерении как изотропных, так и анизотропных тонкопленочных структур различной толщины.
Особенности спектральных эллипсометров серии MUL:
Модельная линейка эллипсометров серии MUL
Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений:
Диапазон измерений
При использовании дейтериевой лампы и композитного источника света галогенной лампы, исследования охватывают диапазон от ультрафиолета до ближнего инфракрасного спектра (193–2500 нм). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.
Метод исследования в эллипсометрии
Метод исследования на базе матрицы Мюллера позволяет обрабатывать больший объем информации. При этом, скорость измерения и точность данных выше.
Двойной компенсатор вращения (DRC)
Благодаря запатентованной конфигурации компенсатора с двойным вращением, эллипсометр MUL за одно измерение может просканировать 16 элементов полной матрицы Мюллера, что позволяет получить более полную информацию об измерениях в сравнении с традиционными спектральными эллипсометрами;
Запатентованная технология стабилизации сигнала оптического тракта приборов серии MUL обеспечивает качественный и стабильный спектр каждой полосы в широком спектральном диапазоне;
База данных типовых эллипсометрических приложений
Эллипсометры серии MUL имеет базу, состоящую из сотни различных материалов, а также несколько библиотек моделей алгоритмов, охватывающих большинство современных материалов оптоэлектроники.
Интегрированная система анализ наноструктур
Интегрированная система анализ нанорешеток позволяет одновременно измерять и анализировать геометрическую информацию, такую как период наноструктуры, ширину, высоту, угол ступеньки структуры, шероховатость и др.;
Сферы использования эллипсометров серии MUL
KYKY ЕМ6900 LV – это оптимальное решение для проведения […]
Запрос цены Подробнее