Описание Спектральные эллипсометры серии MUL

Спектральные эллипсометры серии MUL  – это серия полностью автоматических высокоточных матричных эллипсометров. Приборы MUL позволяют проводить бесконтактный анализ однослойных и многослойных структур, включая изделия на базе кремния, керамики, пленочных структур и др. Спектральные эллипосометры MUL предназначены для определения толщины тонкопленочных образцов и их оптических свойств на основе метода Мюллера. Система позволяет определять такие параметры, как коэффициент преломления, показатель поглощения и др. Запатентованная технология компенсаторов и система синхронного управления двойным повортным устройством позволяет использовать эллипсометр MUL при измерении как изотропных, так и анизотропных тонкопленочных структур различной толщины.

Особенности спектральных эллипсометров серии MUL:

• Двойной компенсатор вращения (DRC) для одновременного измерения всех 16 элементов матрицы Мюллера;
• Автоматизированная система с пятипозиционной автоматической платформой управления образцами;
• Простое и интуитивно понятное в управлении программное обеспечение.
• Обширная база данных и библиотека моделей геометрической структуры для обеспечения неограниченных возможностей анализа данных

Модельная линейка эллипсометров серии MUL

Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений:

• 190 нм – 1650 нм – серия MUL-VM
• 400 – 800 нм – серия MUL-VE
• 210 – 1650 нм – серия MUL-MA
• 210 – 2500 нм – серия MUL-L
• 1700 – 25000 нм – серия MUL-IR

Диапазон измерений

При использовании дейтериевой лампы и композитного источника света галогенной лампы, исследования охватывают диапазон от ультрафиолета до ближнего инфракрасного спектра (193–2500 нм). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.

Метод исследования в эллипсометрии

Метод исследования на базе матрицы Мюллера позволяет обрабатывать больший объем информации. При этом, скорость измерения и точность данных выше.

Двойной компенсатор вращения (DRC)

Благодаря запатентованной конфигурации компенсатора с двойным вращением, эллипсометр MUL за одно измерение может просканировать 16 элементов полной матрицы Мюллера, что позволяет получить более полную информацию об измерениях в сравнении с традиционными спектральными эллипсометрами;

Запатентованная технология стабилизации сигнала оптического тракта приборов серии MUL обеспечивает качественный и стабильный спектр каждой полосы в широком спектральном диапазоне;

База данных типовых эллипсометрических приложений

Эллипсометры серии MUL имеет базу, состоящую из сотни различных материалов, а также несколько библиотек моделей алгоритмов, охватывающих большинство современных материалов оптоэлектроники.

Интегрированная система анализ наноструктур

Интегрированная система анализ нанорешеток позволяет одновременно измерять и анализировать геометрическую информацию, такую ​​как период наноструктуры, ширину, высоту, угол ступеньки структуры, шероховатость и др.;

Сферы использования эллипсометров серии MUL

• Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
• Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
• Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
• Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
• Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
• функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
• Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои , белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
• Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.