Спектральные эллипсометры серии MUL - ЭМТИОН
Спектральные эллипсометры серии MUL

ООО "Эмтион"

Спектральный эллипсометр. Образцы до 200 мм, спектр 193 - 2500 нм

Описание Спектральные эллипсометры серии MUL

Спектральный эллипсометр серии MUL  – это высокоточный и быстрый спектроскопический прибор, предназначенный для бесконтактного анализ однослойных и многослойных структур, включая изделия на базе кремния, керамики, пленочных структур и другое. Спектральные эллипосометры MUL позволяют определять толщину тонкопленочных образцов и их оптические свойства. Широкий спектральный диапазон волн охватывает ультрафиолет, видимый и инфракрасный свет, что позволяет проводить сканирование пленок толщиной от 0,1 нм до десятков микрон (оксидные пленки, ПЭТ пленки и многое другое).

 

Спектроскопический эллипсометр серии MUL основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении, используемым для измерения параметров структуры слоев (например, толщины) однослойных и многослойных нанопленок, а также других их физических параметров (например, показателя преломления n, коэффициента экстинкции k или диэлектрических функций ε1 и ε2). Прибор можно использовать также для измерения оптических свойств сыпучих материалов.

 

 

Применения

  • Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
  • Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
  • Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
  • Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
  • Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
  • функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
  • Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои , белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
  • Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.

 

Особенности Спектрального эллипсометра серии MUL

Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.

 

Спектральный диапазон

 

 От 193 нм до 2500 нм (в зависимости от конфигурации системы)
Угол падения A: автоматическое изменение угла падения

30 ° -90 °, компьютерное управление и автоматическая регулировка, точность лучше 0,02 °

Повторяемость измерений При стандартной толщине пленки SiO2 100 нм:

Повторяемость – 0,01 нм

Точность показателя преломления оптической среды: 0,0005

Время однократного измерения Измерение значений Y / D в полном спектре

Типичное время измерения 5-10 секунд

Схема измерения Поляризатор – Образец – Компенсатор – Поляризатор (PSCA)
Источник света Поляризационная призма
Пятно измерения Регулируемое вручную 1-4 мм
Спектральное разрешение УФ диапазон (-1000нм): ~1.6 нм, 2048 линий суммарно
Предметный столик 8 дюймов (200 мм)

Регулировка высоты 10 мм

Регулировка 2D в диапазоне ± 4 °.

Управляющее ПО Доступные языки: Английский/Китайский
Разделение уровней доступа Есть (администратор/оператор)
Измерение в ПО ·         Автоматическая установка азимута оптического пути;

·         Ручной/автоматический режим измерений;

·         Отображение спектра в стандартных единицах энергии или длин волн;

·         Мониторинг отклика образца, отслеживание изменений Y / D в  режиме реального времени.

Оптические профилометры OPL-2000
Загрузить

Может быть полезно:

Профилометр SURFIEW Elite

        Сканирующий интерферометр белого света SURFIEW […]

Запрос цены Подробнее
Низковакуумный СЭМ ЕМ6900 LV

KYKY ЕМ6900 LV – это оптимальное решение для проведения […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы