Описание Инспекционный микроскоп МХ63

Промышленный микроскоп Olympus MX63 представляет собой высокотехнологичную систему для макро- и микроанализа крупногабаритных образцов, включая полупроводниковые пластины диаметром до 300 мм, панели плоских дисплеев и печатные платы. Модульная конструкция микроскопа обеспечивает адаптацию под различные технологические задачи, а эргономичный дизайн и интеллектуальное программное обеспечение делают процесс инспекции эффективным и воспроизводимым.

Усовершенствованные технологии визуализации

Ключевым преимуществом системы является технология MIX, позволяющая одновременно комбинировать несколько методов наблюдения. Сочетание светлого и темного поля, флуоресценции или поляризации выявляет дефекты, невидимые при стандартной микроскопии. Круговая светодиодная подсветка с функцией направленного темного поля минимизирует ореолы вокруг образца, обеспечивая точную передачу текстуры поверхности.

Флуоресценция (Сам образец не виден)	Темное поле (Остаточное вещество отображается нечетко)

MIX: Флуоресценция + темное поле

(Четко представлен образец ИС и остаточное вещество)

Система оснащена модулем автоматической сшивки изображений (MIA), создающим панорамные изображения без использования приводных столиков. Функция расширенного фокального изображения (EFI) объединяет серию снимков с разным фокусом в единое изображение с полной глубиной резкости, что незаменимо при анализе рельефных поверхностей. Технология высокого динамического диапазона (HDR) регулирует контрастность, сохраняя детализацию в светлых и темных участках.

Автоматизация и соответствие отраслевым стандартам

Программное обеспечение OLYMPUS Stream обеспечивает полный контроль над процессами инспекции — от автоматической настройки параметров изображения до генерации отчетов. Микроскоп соответствует стандартам чистых помещений, включая нормы SEMI S2/S8, что исключает риск загрязнения образцов.

Эргономичная конструкция включает коаксиальные рукоятки управления, вынесенные элементы настройки диафрагмы и смены объективов, а также систему защиты от дыхания. Совместимость с устройством автоматической подачи пластин AL120 обеспечивает безопасную загрузку образцов без использования щипцов.

Опции

Оптические компоненты и методы контрастирования

Система поддерживает широкий спектр методов визуализации, включая DIC, поляризацию, флуоресценцию и ИК-наблюдение. Доступны специализированные объективы с увеличением от 1.25× до 100×, тубусы различных конфигураций и оптические фильтры для конкретных задач. Технология MIX позволяет одновременно комбинировать несколько методов наблюдения для выявления скрытых дефектов.

Системы освещения и визуализации

Конфигурация включает светодиодные, галогенные и ртутные источники освещения с электронной регулировкой интенсивности. Для документирования предлагаются цифровые камеры с различными размерами сенсоров и специализированное ПО OLYMPUS Stream, обеспечивающее автоматическое панорамирование, расширенный фокус и анализ изображений.

Столики и специализированные аксессуары

Доступны столики размером от 150×150 мм до 360×300 мм с грубой и точной регулировкой, включая моторизованные версии. Специализированные держатели поддерживают пластины диаметром до 300 мм, а система автоматической подачи AL120 обеспечивает безопасную работу с образцами в условиях чистых помещений.