Описание Лазерный литограф MT UV Litho

Лазерный литограф MT UV Litho — это уникальный безмасковый литограф, предназначенный для быстрого прототипирования и мелкосерийного производства продукции в полупроводниковой промышленности, биомедицинской инженерии, микроэлектронике, микрофлюидике и других областях. Система построена на базе технологии лазерной литографии с цифровой проекцией (литография в градациях серого 2.5D). Настольный литограф использует УФ-излучение и сочетает в себе компактный эргономичный дизайн. Прибор полностью автоматизирован, имеет высокую скорость записи и высокое разрешение, а также обладает проприетарным программным обеспечением для работы с литографом.

Компактный, но вместе с тем полнофункциональный безмасковый литограф MT UV Litho подходит как для проведения исследований и разработок, так и для быстрой обработки и мелкосерийного производства различных изделий: фотошаблоны, полупроводниковые структуры, квантовые устройства и многое другое. Модульная конструкция системы обеспечивает легкую модернизацию и расширение возможностей системы.

Лазерный литограф MT UV Litho совместим с DXF, GDSII, STL, BMP, PNG и другими форматами файлов, и обеспечивает измерение результатов обработки в реальном времени. Автоматическая фокусировка системы производится всего одним нажатием и отслеживается в реальном времени в ПО управления прибора. Максимальная область экспонирования составляет до 200 мм x 200 мм (при диапазоне перемещения столика 210 х 210 мм) и обеспечивает совместимость с работой с различными 8-дюймовыми подложками, включая подложки из стекла, сапфира, металла, кремния и других материалов. Литограф MT UV Litho оснащается системой контроля температуры для обеспечения стабильности измерений во времени. Прибор также может комплектоваться звукосигнальным устройством для обеспечения безопасности работы на предприятии при работе с системой.

* В зависимости от режима записи и фоторезиста

** Режим экспонирования в градациях серого: режим экспонирования в градациях серого позволяет пользователям изготавливать микроструктуры 2,5D, определяя высоту каждого пикселя структур. Высота регулируется встроенным блоком оттенков серого (128 уровней).

*** Автофокусировка: повторная загрузка подложек или подложек различной толщины обычно вызывает смещение и, следовательно, потерю фокусировки по оси Z. Поверхность подложки может быть автоматически определена и сфокусирована с помощью одной кнопки автофокусировки.

**** Автоматическое выравнивание: подложка не является идеально ровной поверхностью в соответствии с плоскостью экспонирования. Функция автоматического выравнивания корректирует неравномерность поверхности с разрешением 0,00005 рад.

***** Режим работы «на лету»: бесконечная длинная линия (до диапазона перемещения предметного столика) может быть экспонирована в направлении X/Y без каких-либо ошибок сшивания.