Описание Лазерный литограф Uni на базе микроскопа

Лазерный литограф Uni — это система безмасковой литографии, использующая технологию динамических масок на основе DMD зеркал (Digital Mirror Device) диагональю 0,65 дюйма производства Texas Instruments. Литограф Uni интегрирован с оптическим микроскопом, прибор поддерживает работу с различными типами фоторезистов и подложек. Он позволяет создавать 2D- и 2.5D-структуры с микронным разрешением без применения традиционных жестких масок.

Основные преимущества

• Высокое пространственное разрешение: до 560 нм.

• Мощный источник света: интенсивное УФ-излучение.

• Доступные длины волн литографии: 365 нм, 385 нм, 405 нм.

• Гибкость экспонирования: бинарные или градационные шаблоны.

• Поддержка формата PNG: загрузка изображений напрямую.

• Точное позиционирование: система OptiAlign с камерой для совмещения шаблонов.

• Совместимость с микроскопами: микроскопы Olympus, Nikon, Thorlabs.

• ИИ-оптимизация: технология SmartBeam для равномерного распределения пучка.

Технология OptiAlign

Искусственный интеллект анализирует распределение интенсивности пучка литографа и корректирует яркость каждого пикселя в реальном времени, обеспечивая равномерность экспонирования свыше 90%.

Система SmartBeam

Программное обеспечение литографа накладывает виртуальный шаблон на изображение с камеры микроскопа, что позволяет точно совмещать структуры и моделировать результат до экспонирования.

Совместимые микроскопы

• Olympus: серия BX

• Nikon: серия Eclipse

• Thorlabs: серия Cerna

Максимальные размеры области при проведении литографии в зависимости от объектива микроскопа