Описание Лазерный автоматический эллипсометр MUL-LA

Лазерный эллипсометр MUL-LA – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Прибор предназначен для интеграции в автоматизированные технологические процессы и системы контроля качества на производстве, обеспечивая высокую пропускную способность.

Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления *n* и коэффициента экстинкции *k*. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов. Конфигурация поддерживает полную автоматизацию измерений.

Фото программного обеспечения системы

Особенности лазерного эллипсометра MUL-LA

• Полная автоматизация: Интеграция в автоматические линии с поддержкой систем подачи (конвейерная лента, робот-манипулятор).

• Сверхвысокая скорость измерений: Цикл измерений (Cycle Time) может быть оптимизирован до 0.5 секунды на точку.

• Оптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.

• Координатное сканирование (mapping): Поддержка двух режимов сканирования: по декартовым (X-Y) и полярным (R-θ) координатам.

• Промышленная интеграция: Возможность подключения к системам MES (Manufacturing Execution System) и удаленного управления.

• Автоматический столик: X-Y или R-θ для сканирования по площади образца.

• Ручной гониометр с плавной регулировкой угла падения в диапазоне 40° – 90° (настройка производится оператором).

• Возможность оснащения системой позиционирования (камера + автофокус).

Опции