Описание Автоэмиссионный СЭМ HR4000X

Сканирующий электронный микроскоп HR4000X представляет собой стабильную, универсальную и гибкую платформу с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений высокого разрешения для различных типов образцов. Микроскоп обеспечивает разрешение 1,8 нм при 1 кВ и легко справляется с задачами визуализации в широком диапазоне ускоряющих напряжений от 0,2 кВ до 30 кВ.

Ключевая особенность HR4000X — возможность модернизации с помощью технологии сверхбыстрого замедления пучка (Ultra Beam Deceleration), которая дополнительно повышает разрешение при низких напряжениях до 1,5 нм при 1 кВ и 0,8 нм при 15 кВ. Это делает микроскоп оптимальным выбором для лабораторий с растущими требованиями к качеству визуализации.

Электронная оптика и принцип работы

Микроскоп использует многодетекторную технологию с внутрилинзовым электронным детектором (UD-BSE/UD-SE), способным одновременно обнаруживать сигналы вторичных и обратнорассеянных электронов, обеспечивая высокое разрешение и контраст на малых полях зрения.

Внутрилинзовый детектор UD-BSE/UD-SE

Электронный детектор (LD), установленный в камере, включает кристаллический сцинтиллятор и фотоумножители, обеспечивая повышенную чувствительность и эффективность сбора сигнала. Это приводит к получению стереоскопических изображений превосходного качества с высокой глубиной резкости.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

• Внутрилинзовый электронный детектор (UD-BSE/UD-SE) обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и контрастом по топографии и атомному номеру одновременно.

• Детектор Эверхарта-Торнли (LD) с кристаллическим сцинтиллятором и фотоумножителями обеспечивает высокую чувствительность и стереоскопическую передачу морфологии поверхности.

• В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру, детектор для режима СТЭМ для анализа ультратонких срезов, детектор низкого вакуума (LVD), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы)

Автоматизация и расширяемость платформы

Платформа HR4000X отличается высокой степенью автоматизации. Графический пользовательский интерфейс включает функции автоматической регулировки яркости и контраста, автофокусировки, автостигматизации и автоматического выравнивания, что позволяет быстро получать изображения высокого разрешения даже операторам без глубокой квалификации.

Графический интерфейс с автоматическими функциями

5-осевой механический эвцентрический предметный столик обеспечивает перемещение по осям X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм с наклоном от -10° до +70° и вращением 360°. Двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса. Опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов (4″ / 8″), панель управления с трекболом и поворотными регуляторами, а также технология сверхбыстрого замедления луча для дальнейшего повышения разрешения при низких напряжениях.

Примеры применения

Композитный материал на основе стекловолокна ПА, 10 кВ / BSED	Керамический, 10 кВ / ETD

Металлический разрыв, 15кВ / ETD	Чип, 5кВ / ETD

Пыльца цветной капусты, Низкий вакуум 70 Па / 10 кВ / LVD	Серебристая паста, 1кВ / ETD