Описание Вольфрамовый СЭМ HR3300

Сканирующий электронный микроскоп HR3300 представляет собой высокоразрешающий прибор с вольфрамовой нитью накала, предназначенный для получения изображений высокого разрешения в широком диапазоне ускоряющих напряжений. Благодаря применению передовых электронно-оптических технологий, микроскоп преодолевает традиционные пределы разрешения СЭМ с термоэмиссионным источником, обеспечивая характеристики, ранее доступные только для полевых эмиссионных микроскопов.

Ключевая особенность HR3300 — сочетание классической надёжности вольфрамовой нити с современными технологиями визуализации. Электронно-оптическая колонна «Super-Tunnel» в сочетании с электростатической и электромагнитной составной объективной линзой позволяет достигать разрешения 2,5 нм при 15 кВ, 4 нм при 3 кВ и 5 нм при 1 кВ, что открывает возможности для низковольтного анализа непроводящих образцов.

Электронная оптика и принцип работы

Технология «Super-Tunnel» обеспечивает бесперекрестный путь электронного луча, минимизируя аберрации объективной линзы и эффект пространственного заряда. Комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза дополнительно снижает сферические и хроматические аберрации, что критично для работы при низких ускоряющих напряжениях.

Вольфрамовая нить накала обеспечивает стабильную эмиссию электронов при значительно более низкой стоимости эксплуатации по сравнению с полевыми эмиссионными источниками. Это делает HR3300 оптимальным выбором для лабораторий с высоким потоком образцов, где важны надёжность и экономическая эффективность без компромиссов в качестве визуализации.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

• Внутрилинзовый электронный детектор (In-lens) обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и контрастом по топографии на малых полях зрения, особенно эффективен при низких ускоряющих напряжениях.

In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей

• Детектор вторичных электронов (ETD, Эверхарта-Торнли) является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности с высокой глубиной резкости.

Детектор ETD: объемная передача морфологии

• В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

Автоматизация и расширяемость платформы

Платформа HR3300 отличается высокой степенью автоматизации. Улучшенные функции автоматической яркости и контрастности, автоматической фокусировки и автоматической коррекции астигматизма позволяют получать качественные изображения одним щелчком, что сокращает время обучения операторов и повышает производительность.

Интерфейс с автоматическими функциями настройки

5-осевой вакуум-совместимый моторизованный предметный столик обеспечивает перемещение по осям XY=125 мм, Z=50 мм с наклоном от -10° до +90° и вращением 360°. Увеличенный диапазон перемещения по оси XY позволяет исследовать крупногабаритные образцы без необходимости повторной загрузки.

Оптическая навигация с вертикально установленной камерой позволяет получать оптические изображения для интуитивного и точного позиционирования образца перед началом электронно-микроскопического исследования. Двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса.

Опционально предусмотрены автоматическая шлюзовая камера для образцов и панель управления с трекболом и поворотными регуляторами для повышения эргономичности работы оператора.

Примеры применения

Никелевая сетка, 5 кВ / ETD	Солнечная батарея, 3 кВ / ETD