Описание Спектральные эллипсометры серии MUL

Спектральный эллипсометр серии MUL – это высокоточный и быстрый спектроскопический эллипсометр предназначенный для измерения тонких пленок в научных исследованиях и промышленных условиях. Диапазон длин волн охватывает ультрафиолет, видимый и инфракрасный свет. Спектроскопический эллипсометр серии основан на высокочувствительном блоке детектирования и программном обеспечении спектроскопического эллипсометра, используемом для измерения параметров структуры слоев (например, толщины) однослойных и многослойных нанопленок, физических параметров (например, показатель преломления n, коэффициент экстинкции k или диэлектрические функции ε1 и ε2), его также можно использовать для измерения оптических свойств сыпучих материалов. Спектральный диапазон прибора охватывает ультрафиолетовый, видимый и инфракрасный диапазоны.

Преимущества

• Усовершенствованный метод отбора проб с вращающимся компенсатором: диапазон от 0 до 360°, отсутствие мертвой зоны при измерении, устранение влияния деполяризации на результаты, вызванной шероховатой поверхностью;
• Высокая скорость измерения полного спектра: типовое время измерения занимает менее 10 секунд;
• Чувствительность обнаружения атомного уровня: измерение на атомарном уровне;
• Видеокамера для настройки образца: видеокамера для юстировки и измерения зоны обнаружения образца;
• Регулировка угла падения: гибкое изменение угла падения (особенно важно при работе с ультратонкими или сложными образцами).

Применения

• Структуры полупроводниковых пленочных структур: диэлектрическая пленка, металлическая пленка, полимер, фоторезист, кремний, пленка PZT, лазерный диод GaN и AlGaN, прозрачные пленки и т. д.;
• Полупроводниковые периодические наноструктуры: нанорешетки, память с изменением фазового состояния и др.;
• Исследования новых материалов и новых физических явлений: оптическая анизотропия материалов, электрооптический эффект, упруго-оптический эффект, акустооптический эффект, магнитооптический эффект, оптический эффект вращения, эффект Керра, эффект Фарадея и др.;
• Плоские дисплеи: TFT, OLED, плазменные панели, гибкие дисплеи и т. д.;
• Фотогальваника: фотогальванические материалы (такие как Si3N4, Sb2Se3, Sb2S3, CdS и т. д.), отражательная способность, измерение коэффициента экстинкции, измерение толщины пленки и шероховатости поверхности и т. д.;
• функциональные покрытия: просветляющие, самоочищающиеся, электрохромные, зеркально-оптические покрытия, а также полимерные, масляные, Al2O3 поверхностные покрытия и обработка;
• Биологическая и химическая инженерия: органическая пленка, самособирающиеся монослои, белковый субмолекулярный слой, пленочная адсорбция, модифицированные поверхности и т. д.;
• Анализ сыпучих материалов: характеристика показателя преломления n и коэффициента экстинкции k твердых тел (металлов, полупроводников, сред и т. д.) или жидкостей (чистых веществ или примесей), исследования и разработки новых стекол, контроль качества и т. д.

Серия MUL имеет приборы для различного спектрального диапазона измерений от 193 нм до 2500 нм. Системы оснащаются как ручными, так и автоматическими гониометрами. Существуют серии как для R&D целей, так и для промышленного применения (в том числе, анализа полупроводниковых пластин, поликремниевых образцов и др). Для специализированных задач доступны приборы с большим спектральным диапазоном.

Опции

• Вакуумный насос для крепления легких и тонких образцов.
• Адсорбационный предметный столик (для работы с гибкими образцами).
• Предметный столик трех размеров на выбор: 100 мм x 100 мм, 150 мм x 150 мм, 200 мм x 200 мм.
• Micro spot (для измерения малых областей, диаметр пятна (spot) – 200 мкм).

Спектральные эллипсометр серии MUL представлены в трех версиях:

• MUL(A) – модель с ручным гониометром.
• MUL(M) – модель с автоматическим гониометром.
• MUL(F) – модель с фиксированным углом падения.