Лазерный эллипсометр серии MUL L
Китай
Лазерный эллипсометр с фиксированной длиной волны 632.8 нм
Описание Лазерный эллипсометр серии MUL L
Лазерный эллипсометр серии MUL L – это лазерный эллипсометр, который применяется для измерения параметров пленок на гладкой подложке. Он обеспечивает измерение толщины тонких пленок и оптических констант на длине волны гелий-неонового лазера 632,8 нм с высокой точностью. Серия представлена в двух специализированных модификациях: промышленной (MUL LI) и учебно-исследовательской (MUL LR), что позволяет проводить быстрые (около 1 с на точку) и точные измерения как в условиях производства, так и в лаборатории.
Прибор используется для определения эллипсометрических параметров (Ψ, Δ), толщины пленки, показателя преломления *n* и коэффициента экстинкции *k*. Оптическая система с одним компенсатором и функцией автоматической регулировки усиления детектора обеспечивает стабильность и повторяемость результатов.
 |
 |
Фото программного обеспечения системы
Сравнение конфигураций серии MUL L
| Критерий | MUL LI | MUL LR |
|---|---|---|
| Основное назначение | Интеграция в технологические процессы для автоматизированного контроля качества на производстве. | Обучение и проведение научно-исследовательских работ в учебных и академических лабораториях. |
| Ключевые опции | Поддержка систем автоматизированной подачи: конвейерная лента или робот-манипулятор (CT до 0.5 с), координатное сканирование (mapping), интеграция с MES. | Базовая конфигурация ориентирована на ручное размещение образцов. Опции автоматизации — по отдельному запросу. |
Особенности лазерного эллипсометра серии MUL L
-
Две целевые конфигурации: для промышленности (MUL LI) и для образования (MUL LR).
-
Высокая скорость точечного измерения — около 1 секунды.
-
Оптическая система с компенсатором и автоматической регулировкой усиления сигнала.
-
Современный пользовательский интерфейс.
-
Для промышленной модели: возможность интеграции в автоматические линии, поддержка MES и удаленного управления.
Опции
| Характеристика | MUL M (Manual) | MUL A (Auto) | MUL L (Laser) |
|---|---|---|---|
| Тип прибора | Спектральный эллипсометр | Спектральный эллипсометр | Одноволновый лазерный эллипсометр |
| Стандартный спектральный диапазон | 350 – 1000 нм | 350 – 1000 нм | Фиксированная длина волны: 632.8 нм |
| Опции расширения спектра | UV: 245 – 1000 нм NIR: 350 – 1650 нм EUV: 193 – 1000 нм |
UV: 245 – 1000 нм NIR: 350 – 1650 нм EUV: 193 – 1000 нм |
Не применимо |
| Столик | Ручной столик | Автоматический столик (на выбор: X-Y или R-θ) | Варианты: ручной или автоматический столик (X-Y или R-θ) |
| Гониометр (угол падения) | Ручной, плавная регулировка 40° – 90° | Ручной, плавная регулировка 40° – 90° | Ручной, плавная регулировка 40° – 90° |
| Микро-пятно (Micro Spot) | 50 мкм | 50 мкм | 50 мкм |
| Система позиционирования (Камера + Автофокус) |
Опционально | Стандарт | Опционально |
| Модели | MUL LI (промышленная), MUL LR (учебно-исследовательская) |
| Измеряемые параметры | Эллипсометрические углы Ψ и Δ, толщина пленки (d), показатель преломления (n) |
| Точность измерения | Толщина: 0.1 нм, Показатель преломления: 0.001 |
| Длина волны источника | 632.8 нм (гелий-неоновый лазер) |
| Оптическая компенсация | Один компенсатор (одна компенсирующая пластина) |
| Оптическое детектирование | Автоматическая регулировка усиления |
| Скорость измерения (одна точка) | ~1 секунда |
Может быть полезно:
Лазерный эллипсометр серии MUL M
Спектральный эллипсометр серии MUL M – это высокоточный […]
Запрос цены ПодробнееЛазерный эллипсометр серии MUL A
Спектральный эллипсометр серии MUL A – это высокоточный […]
Запрос цены ПодробнееИзмеритель толщины пленок EH100
EH100 – это прибор общего назначения для измерения […]
Запрос цены Подробнее