Рис.3 Профиль

Процедура калибровки

Для калибровки движения сканера АСМ вдоль оси Z необходимо выполнить следующие операции:

• Поместите калибровочный образец SiC-0,75 нм на плоскую горизонтальную рабочую область под зондом АСМ.
• ПОдведите зонд АСМ к поверхности образца и выполните сканирование топографии, используя размер сканирования около 5 мкм (рис. 1). Убедитесь, что на поверхности нет пыли, и выберите для дальнейших измерений площадь около 1,5×1,5 мкм2.
• После получения качественного АСМ-изображения поверхности используйте программный фильтр для сглаживания изображения так, чтобы был виден каждый отдельный шаг (рис. 2). Выберите область на АСМ-изображении для получения профиля высоты, используя возможности программного обеспечения АСМ. Выберите район с максимальным количеством шагов для лучшей статистики. После получения профиля высоты с пиками, соответствующими каждому шагу, измерьте межпиковые расстояния. Обратите внимание, что расстояния между соседними пиками могут немного отличаться (см. Рис.3), поэтому полезно усреднять расстояния между пиками путем измерения расстояния между дальними пиками и деления измеренного значения на количество включенных межпиковых расстояний (AA на рис. 3). Измените калибровочную константу сканера, пока среднее межпиковое расстояние не станет 0,75 нм.