Eclipse L200
Микроскоп с загрузчиком пластин
Профессиональное решение для инспекции пластин и крупных образцов
Описание
Автоматизированный комплекс на базе инспекционного микроскопа Nikon Eclipse L200 и загрузчика пластин NWL200 предназначен для прецизионного контроля качества полупроводниковых пластин и интегральных схем. Система обеспечивает полную автоматизацию загрузки образцов диаметром до 200 мм из стандартных кассет SEMI 25. В зависимости от задач инспекции комплекс комплектуется микроскопом в конфигурации L200N (отраженный свет) или L200ND (отраженный и проходящий свет). Оптическая система оснащена объективами серии CFI60 LU/L, обеспечивающими высокую контрастность и разрешение в диапазоне увеличений x50–x2000. Специальное антистатическое покрытие корпуса предотвращает осаждение инородных частиц на образец, что критично для работы в чистых производственных помещениях.
Особенности
Принцип работы
Работа системы строится на синхронизации механической подачи образцов и оптического анализа. Загрузчик автоматически извлекает пластину из кассеты с помощью вакуумных манипуляторов, осуществляя бесконтактную центровку и ориентацию по риску или фаске с точностью поворота на 90°. После точного позиционирования пластина перемещается на специализированный столик микроскопа, где проводится оптическая инспекция методами светлого и темного поля, поляризации или дифференциально-интерференционного контраста (DIC). Полученные изображения передаются на ПК для обработки через программное обеспечение NIS-Elements, поддерживающее многомерный захват и автоматические измерения. Управление циклом инспекции осуществляется через встроенную панель с LCD-интерфейсом или удаленно через интерфейсы связи RS-232C и LAN.
Система автоматической загрузки образцов
Загрузчик пластин NWL200 представляет собой специализированный модуль, разработанный с применением фирменных технологий Nikon для работы с ультратонкими подложками. Ключевой технической особенностью является возможность безопасной загрузки пластин толщиной до 100 мкм, что достигнуто за счет оптимизированной конфигурации лучей датчиков положения. Эта технология позволяет точно детектировать коробление пластины внутри кассеты, предотвращая контакт манипулятора с поверхностью образца даже при значительной деформации, что было критическим ограничением в моделях предыдущих поколений. Надежность системы обеспечивается сохранением вакуумного захвата манипулятора даже при отключении электропитания, позволяя вернуть пластину в кассету без использования ручного инструмента. Эргономика оператора учтена через расположение кассет под углом 35° слева и спереди, что позволяет визуально контролировать процесс загрузки и управлять системой в естественной позе без лишних движений.
Особенности и преимущества
- Работа с ультратонкими подложками: Гарантированная загрузка пластин толщиной от 100 мкм (стандартно до 300 мкм) благодаря точной детекции деформации в кассете.
- Защита образца при сбоях: Вакуумный захват манипулятора сохраняется активным при отключении питания, позволяя вернуть пластину в кассету без ручного вмешательства.
- Высокая пропускная способность: Бесконтактная центровка и многозахватная система манипуляторов минимизируют время цикла обмена образцов.
- Эргономика рабочего места: Кассеты расположены под углом 35° слева, органы управления вынесены на переднюю панель для работы в естественной позе.
- Модульность освещения: Конфигурация L200N поддерживает эпископическое освещение, L200ND дополнительно оснащена диаскопическим осветителем. Доступна опция установки ксеноновой лампы 75 Вт.
- Сетевая интеграция: Интерфейсы USB, LAN и RS-232C позволяют передавать данные инспекции на хост-компьютер и встраивать комплекс в производственную сеть.
- Безопасность: Соответствие стандартам SEMI S2/S8 и классу лазерной безопасности FDA Class 1. Наличие кнопки аварийной остановки.
- Программная совместимость: Интеграция с камерами Digital Sight и ПО NIS-Elements для автоматических измерений и создания отчетов.
- Чистота процесса: Специальное антистатическое покрытие корпуса предотвращает притяжение пыли и загрязнение образцов.
Технические характеристики
Eclipse L200
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Конфигурация микроскопа | Nikon Eclipse L200N (отраженный свет) / L200ND (отраженный + проходящий свет) |
| Загрузчик пластин | Nikon NWL200 Series |
| Диаметр пластин | 200 мм (стандарт), 150 мм (опция) |
| Толщина пластин | Стандарт: 300 мкм Опция тонких пластин: 100–300 мкм |
| Тип кассеты | SEMI 25 (26) wafer carrier |
| Методы контраста | Светлое поле, Темное поле, Поляризация, ДИК (DIC), Эпифлуоресценция (опция) |
| Объективы | Серия CFI60 LU / L Plan (полуапохроматические/апохроматические) |
| Предметный столик | Ход по осям X-Y: 205 × 205 мм Управление: Прецизионное, ручное/моторизованное (опция) |
| Фокусировка | Ход: 29 мм Точная фокусировка: 0,1 мм/об (шаг 1 мкм) |
| Освещение (Эпи) | Галогенная лампа 12 В / 100 Вт (моторизованная апертурная диафрагма) |
| Освещение (Диас) | Только для L200ND: Галогенная лампа 12 В / 50 Вт, конденсор LWD |
| Ориентация пластины | Бесконтактная, фотоэлектрические датчики (поворот на 90°) |
| Интерфейсы | USB, LAN, RS-232C |
| Габариты (Загрузчик) | 535 × 626 × 350 мм (Ш × Г × В) |
| Вес (Загрузчик) | 50 кг |
| Электропитание | AC 100–240 В, 50/60 Гц, 1.5–0.7 А |
| Вакуум | -80 кПа (диаметр трубки 6 мм) |
| Стандарты безопасности | SEMI S2-0706, S8-0307, F47; CE; FDA Class 1 |
Применение
Инспекция поверхности полупроводниковых пластин и интегральных схем с автоматизированной загрузкой.
Примеры применения
Материалы
Все материалы (1)Обсудим вашу задачу
Укажите образцы, метод и условия измерений. Подберём конфигурацию и состав оборудования.