Модуль электронно-лучевой литографии
Модуль электронно-лучевой литографии для СЭМ KYKY
Описание
Модуль электронно-лучевой литографии, вкупе с прецизионным столиком и системой генерации изображений, позволяют проводить полноценную нанолитографию с использованием электронного пучка. Опционально также доступна модификация системы с генератором шаблонов, включая генератор наноразмерных структур. Данная модифицированная система особенно широко применяется в микроэлектронике и позволяет создавать оптоэлектронные системы, квантовые датчики и др. наноустройства для целей R&D.
Особенности
Опциональный генератор шаблонов позволяет задавать рисунок для записи наноразмерных структур.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Оснащение | Прецизионный столик и система генерации изображений |
Применение
Запись наноструктур электронным пучком в камере сканирующего электронного микроскопа.
Материалы
Все материалы (1)Обсудим вашу задачу
Укажите образцы, метод и условия измерений. Подберём конфигурацию и состав оборудования.