Описание GVC-5000

GVC-5000 – это флагманское решение в линейке устройств для нанесения покрытий. Устройство представляет из себя компактную настольную систему, имеющую процессную камеру,  выполненную из борсиликатного стекла, в которой располагается образец. Устройство может работать как в режиме магнетронного напыления металла, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Установка также имеет систему защиты от предельных вакуумного давления (сброс давления с помощью установленного напускного клапана) и защиту при превышении допустимого тока распыления.

Установка предназначена для предварительной подготовки непроводящих образцов к СЭМ сканированию (сканирование электронным микроскопом). Процесс пробоподготовки поверхности образца необходим для того, чтобы улучшить качество получаемых СЭМ изображений. Перед проведением сканирования, образец покрывают тонкой проводящей углеродной или металлической пленкой для усиления вторичного электронного сигнала, получаемого с SE детектора СЭМ. Тонкий напыленный слой позволяет устранить заряд на поверхности образца, уменьшить вероятность термического повреждение образца при воздействии на него электронным пучком. Использование углерода в качестве распыляемого материала может проводиться, например, для целей микроанализа с помощью EDS, WDS или EBSD детекторов электронного микроскопа.

Особенности системы:

• Комбинированная система, работающая как в режиме магнетронного напыления, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий.

• Переключение одной клавишей между двумя режимами.

• Специальная конструкция установки, позволяющая избежать перекрестного загрязнения при переключении в два разных режима.

• Микропроцессорная система управления для точного контроля параметров технологического процесса (показания давления вакуума в реальном времени, тока распыления, времени распыления, времени работы оборудования и т.д.

• 7-и дюймовый цветной сенсорный экран.

• Два режима работы: непрерывный и импульсный нагрев.

• Встроенные функции защиты оборудования по перегрузки по току, превышения вакуума.