PicoVAC mini
Настольная установка магнетронного напыления
Настольная установка магнетронного напыления
Описание
Малогабаритная настольная установка магнетронного напыления PicoVAC mini предназначена для нанесения металлических и углеродсодержащих тонких слоев методом магнетронного распыления на образцы. Система предназначена для напыления металлов на поверхность образцов, в том числе для пробоподготовки образцов для электронной микроскопии (РЭМ пробоподготовка), с целью минимизации накопления статических электрических зарядов во время исследований.
Установка напыления PicoVAC mini может быть использована в исследовательских целях, а также в образовательном процессе в рамках курсов по физике плазмы и вакуумной технике.
Особенности
Принцип работы PicoVAC mini
Принцип работы PicoVac mini основан на магнетронном распылении (нанесение тонких слоев материалов на поверхность образцов). Процесс напыления в PicoVAC mini происходит в несколько этапов:
- Создание вакуума: образец помещается в вакуумную камеру, где создается высокий вакуум для предотвращения загрязнения и обеспечения чистоты процесса (высокий вакуум достигается только при использовании турбомолекулярного насоса).
- Ионизация газа: в камеру вводится инертный газ (обычно аргон), который ионизируется под действием высокого напряжения, создавая плазму.
- Магнетронное распыление: плазма направляется на мишень (материал, который будет наноситься на образец). Под действием магнитного поля ионы газа бомбардируют мишень, выбивая из нее атомы.
- Нанесение слоя: выбитые атомы мишени осаждаются на поверхность образца, образуя тонкий слой. Процесс происходит в условиях высокого вакуума, что обеспечивает высокую чистоту и однородность наносимого слоя.
Основные преимущества PicoVAC mini
- Компактность и удобство: установка занимает минимум места и легко интегрируется в любую лабораторию или учебное заведение.
- Высокая точность: обеспечивает нанесение тонких слоев с высокой степенью точности и однородности.
- Многофункциональность: подходит для различных типов образцов и материалов, включая металлы и углеродсодержащие соединения.
- Эффективность: минимизирует накопление статических зарядов, что особенно важно для электронной микроскопии.
- Образовательные возможности: идеально подходит для использования в образовательном процессе, особенно в курсах по физике плазмы и вакуумной технике.
Опции установки напыления PicoVAC mini
- Узел ионной обработки образцов позволяет модифицировать, активировать и улучшать смачиваемость поверхности образцов, что улучшает их характеристики и сцепление с наносимыми материалами.
- Водяное охлаждение магнетрона обеспечивает более эффективное охлаждение магнетрона, особенно при высоких нагрузках, что повышает стабильность работы и качество напыления.
- Установка турбомолекулярного насоса позволяет достигать более высокого уровня вакуума, что улучшает качество напыления и минимизирует загрязнение образцов.
Технические характеристики
PicoVAC mini
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Камера | Из нержавеющей стали, диаметр 100 мм, порт быстрого доступа 100 мм, смотровое окно |
| Обработка пластин | Поштучная, диаметр до 76 мм |
| Тип магнетрона | Уравновешенный магнетрон постоянного тока |
| Охлаждение магнетрона | Воздушное |
| Напыляемые материалы | Au, Pt, Ag, Cu, Au/Pd, Ni |
| Мощность источника питания | 40 Вт |
| Диаметр мишени магнетрона | 38-40 мм, толщина 0,2-2 мм |
| Расстояние от образца до мишени | Варьируемое |
| Скорости напыления | 0,5-6 Å/сек |
| Откачка | Роторный или спиральный насос |
| Скорость откачки | Не менее 4 м³/ч |
| Давление в камере | 5х10⁻² - 5 х10⁻¹ мм.рт.ст., поток регулируется ручным прецизионным натекателем |
| Количество газовых каналов | 1 |
| Рекомендованный газ | Ar, Ar/Не |
| Тип измерителя давления | Термопарный |
| Управление | Ручное |
| Опции | Узел ионной обработки образцов для модификации/активации/смачиваемости поверхности; Водяное охлаждение магнетрона; Установка турбомолекулярного насоса |
Применение
Получение тонких плёнок магнетронным напылением на настольной вакуумной установке.
Материалы
Все материалы (1)Обсудим вашу задачу
Укажите образцы, метод и условия измерений. Подберём конфигурацию и состав оборудования.