Лазерная литография
Litho MaskLess
Безмасковый литограф с цифровой DMD-проекцией для 2D- и 2,5D-структур. Интеграция с оптическим микроскопом упрощает выбор и контроль области экспонирования.
Каталог оборудования
Литография
Подразделы
Всё оборудование раздела · 6 позиций
Лазерная литография
MT UV Litho
Компактный безмасковый УФ-литограф для быстрого прототипирования. Цифровая проекция в градациях серого позволяет формировать 2,5D-рельеф.
Наноимпринтная литография
NIL-100
Компактная автоматизированная система наноимпринтной литографии для лабораторий и учебных центров. Рассчитана на подложки до 100 мм.
Наноимпринтная литография
NIL-150/200
Автоматизированная система наноимпринтной литографии для исследований и мелкосерийного производства. Рассчитана на подложки до 150 или 200 мм в зависимости от исполнения.
Наноимпринтная литография
Шаблоны и расходные материалы
Шаблоны и расходные материалы для наноимпринтной литографии. Доступны мягкие PDMS, композитные и никелевые шаблоны под технологию переноса структуры.
Электронно-лучевая литография
EBL-100FS
Электронно-лучевой литограф для прямой записи наноструктур без фотошаблона. Подходит для прототипирования устройств микроэлектроники, фотоники и MEMS.