Одноколонные СЭМ

HR2100

Электронная микроскопия для повседневных исследований

Компактный СЭМ с вольфрамовым катодом, автоматической настройкой изображения и оптической навигацией по образцу.

Материалы ↓

3 нмРазрешение при 20 кВ · вторичные электроны

0,2–30 кВУскоряющее напряжение

до 300 000×Увеличение на штатном мониторе

125 × 125 ммПеремещение столика по X и Y

Описание

Сканирующий электронный микроскоп HR2100 представляет собой компактный прибор с вольфрамовой нитью накала, предназначенный для рутинных исследований микроструктуры материалов с акцентом на простоту использования. Микроскоп отличается упрощённым рабочим процессом и соответствует отраслевым стандартам благодаря интуитивному дизайну пользовательского интерфейса.

Ключевая особенность HR2100 — концепция «Простота без ущерба для функциональности». Несмотря на минималистичный программный интерфейс, микроскоп предоставляет полный набор автоматизированных функций, инструментов для измерения и аннотирования, возможностей управления постобработкой изображений и оптической навигации. Это делает HR2100 оптимальным выбором для образовательных учреждений и лабораторий с высоким потоком рутинных образцов.

Особенности

Электронная оптика и принцип работы

Вольфрамовая нить накала обеспечивает стабильную эмиссию электронов при значительно более низкой стоимости эксплуатации по сравнению с полевыми эмиссионными источниками. Микроскоп достигает разрешения 3 нм при 20 кВ (сигнал вторичных электронов) и 4 нм при 20 кВ (сигнал обратнорассеянных электронов), что достаточно для большинства задач контроля качества и образовательных применений.

Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0,2 кВ до 30 кВ позволяет адаптировать условия наблюдения под различные типы образцов. Увеличение до 300 000× покрывает широкий спектр задач — от общего обзора поверхности до детального изучения микроструктуры.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) регистрирует сигнал вторичных электронов (SE) и является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности с высокой глубиной резкости.

Детектор ETD: объемная передача морфологии поверхности

В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

Автоматизация и расширение

Платформа HR2100 отличается высокой степенью автоматизации. Улучшенные функции автоматической регулировки яркости и контрастности, автоматической фокусировки и автоматической коррекции астигматизма позволяют получать качественные изображения одним щелчком, что сокращает время обучения операторов.

Автоматическая фокусировка: до и после

Интеллектуальная вспомогательная коррекция астигматизма изображения

— в этом режиме значение астигматизма по осям X и Y меняется в зависимости от пикселя. Чёткость изображения достигается при оптимальном значении астигматизма, что позволяет быстро настроить стигматор даже неопытному оператору.

Интеллектуальная коррекция астигматизма

3-осевой моторизованный предметный столик

обеспечивает перемещение по осям X, Y, Z с диапазоном XY=125 мм и Z=50 мм. Компактная конструкция столика оптимизирована для рутинных задач, где не требуется наклон или вращение образца.

Оптическая навигация

с вертикально установленной камерой позволяет получать оптические изображения для интуитивного и точного позиционирования образца перед началом электронно-микроскопического исследования. Двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса.

Опционально предусмотрены автоматическая шлюзовая камера для образцов и панель управления с трекболом и поворотными регуляторами для повышения эргономичности работы оператора.

Технические характеристики

HR2100

Таблицу можно прокрутить вправо →

Разрешение	3 нм при 20 кВ (сигнал ВЭ), 4 нм при 20 кВ (сигнал ОЭ)
Увеличение	от 1× до 300 000× на штатном мониторе
Тип эмиттера	вольфрамовая нить накала (термоэмиссионный)
Ток электронного луча	от 1 пА до 20 нА
Энергия электронного луча	от 0,2 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон
Объективная линза	электромагнитная объективная линза оптимизирована для рутинных задач контроля качества и образовательных применений
Диафрагма объективной линзы	многопозиционная с автоматическим переключением
Состав вакуумной системы	турбомолекулярный насос форвакуумный механический безмасляный насос ионно-геттерный насос давление в электронной пушке: 9×10⁻⁸ Па; Давление в камере образцов: 5×10⁻⁴ Па
Камера образцов	двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм максимальный размер образца: диаметр 260 мм, высота: 53 мм
Столик образцов	трёхосевой (XYZ) вакуум-совместимый моторизованный столик максимальный вес образца: 500 г
Диапазон перемещений	X (авто)	0 – 125 мм
	Y (авто)	0 – 125 мм
	Z (авто)	0 – 50 мм
	T / R	не предусмотрено
Детекторы (стандарт)	детектор Эверхарта-Торнли (ETD)
Детекторы (опции)	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD)
Система энергодисперсионного микроанализа (опция)
Детектор	Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью. • Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα • Диапазон детектируемых элементов от B до Am • Встроенная безазотная система охлаждения Пельтье для работы без вибраций и готовность к эксплуатации в течение одной минуты после включения • Ручной ввод детектора в камеру • Площадь детектора: 30 мм²
Программное обеспечение	• Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре; • Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; • Сравнение полученных спектров; • Полностью автоматическое вычитание фона и деконволюция перекрывающихся линий спектра для обеспечения количественного анализа; • Автоматический расчет матричных поправок для обеспечения точного количественного анализа как легких, так и тяжелых элементов; • Определение количественного элементного состава в автоматическом режиме во всем диапазоне определяемых элементов (B-Am), как на основе пользовательских эталонов, так и безэталонным методом на основе заводских эталонов; • Анализ в произвольно выбранной на изображении точке; • Цветное элементное картирование; • Построение профиля распределения элементов по линии; • Автоматическое последовательное получение серий спектров от точек, расположенных произвольно по выбору оператора; • Анализ в точке, по прямоугольнику, по эллипсу, по полигональной фигуре; • Формирование и экспорт отчетов по результатам анализа; • Инструменты для измерения и аннотирования; • Постобработка изображений
Программное обеспечение микроскопа
Режим отображения	полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация
Формат хранения изображений	TIFF, JPG, PNG, BMP
Отображение изображения	768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей
Максимальный размер сохраняемого изображения	48×32 тыс. пикселей
Отображение сигналов	можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране
Смешивание сигналов	каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением
Скорость развёртки	четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования
Функции линейного измерения	поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д.
Область аннотации изображения и данных	предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа
Меню состояния	отображение различных рабочих параметров
Функция автоматической настройки	автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор, интеллектуальная коррекция астигматизма
Функция навигации	оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры, трекбол (опционально)
Вспомогательное оборудование	вертикально установленная камера для оптической навигации система навигации по фотографии образца механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма / 8 дюймов (опция) панель управления с трекболом и поворотными регуляторами (опция)
Возможные опции	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED), энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX), дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD), шлюз для обмена образцов, панель управления с трекболом
Операционная система	Windows
Язык интерфейса	английский