Одноколонные СЭМ

HR3300

Сканирующий электронный микроскоп

Вольфрамовый СЭМ с электронно-оптической колонной

Материалы ↓

0 – 50 ммZ (авто)

360 градусовR (авто)

48×32 тыс. пикселейМаксимальный размер сохраняемого изображения

Описание

Сканирующий электронный микроскоп HR3300 представляет собой высокоразрешающий прибор с вольфрамовой нитью накала, предназначенный для получения изображений высокого разрешения в широком диапазоне ускоряющих напряжений. Благодаря применению передовых электронно-оптических технологий, микроскоп преодолевает традиционные пределы разрешения СЭМ с термоэмиссионным источником, обеспечивая характеристики, ранее доступные только для полевых эмиссионных микроскопов.

Ключевая особенность HR3300 — сочетание классической надёжности вольфрамовой нити с современными технологиями визуализации. Электронно-оптическая колонна «Super-Tunnel» в сочетании с электростатической и электромагнитной составной объективной линзой позволяет достигать разрешения 2,5 нм при 15 кВ, 4 нм при 3 кВ и 5 нм при 1 кВ, что открывает возможности для низковольтного анализа непроводящих образцов.

Особенности

Электронная оптика и принцип работы

Технология «Super-Tunnel» обеспечивает бесперекрестный путь электронного луча, минимизируя аберрации объективной линзы и эффект пространственного заряда. Комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза дополнительно снижает сферические и хроматические аберрации, что критично для работы при низких ускоряющих напряжениях.

Вольфрамовая нить накала обеспечивает стабильную эмиссию электронов при значительно более низкой стоимости эксплуатации по сравнению с полевыми эмиссионными источниками. Это делает HR3300 оптимальным выбором для лабораторий с высоким потоком образцов, где важны надёжность и экономическая эффективность без компромиссов в качестве визуализации.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

Внутрилинзовый электронный детектор (In-lens) обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и контрастом по топографии на малых полях зрения, особенно эффективен при низких ускоряющих напряжениях.

In-lens детектор: высокое разрешение поверхностных деталей

Детектор вторичных электронов (ETD, Эверхарта-Торнли)
является универсальным инструментом для получения общей топографии поверхности с высокой глубиной резкости.

Детектор ETD: объемная передача морфологии

В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру (Z-контраст), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

Автоматизация и расширение

Платформа HR3300 отличается высокой степенью автоматизации. Улучшенные функции автоматической яркости и контрастности, автоматической фокусировки и автоматической коррекции астигматизма позволяют получать качественные изображения одним щелчком, что сокращает время обучения операторов и повышает производительность.

Интерфейс с автоматическими функциями настройки

5-осевой вакуум-совместимый моторизованный предметный столик

обеспечивает перемещение по осям XY=125 мм, Z=50 мм с наклоном от -10° до +90° и вращением 360°. Увеличенный диапазон перемещения по оси XY позволяет исследовать крупногабаритные образцы без необходимости повторной загрузки.

Оптическая навигация

с вертикально установленной камерой позволяет получать оптические изображения для интуитивного и точного позиционирования образца перед началом электронно-микроскопического исследования. Двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса.

Опционально предусмотрены автоматическая шлюзовая камера для образцов и панель управления с трекболом и поворотными регуляторами для повышения эргономичности работы оператора.

Технические характеристики

HR3300

Таблицу можно прокрутить вправо →

Разрешение	2,5 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 4 нм при 3 кВ (сигнал ВЭ), 5 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ)
Увеличение	от 1× до 300 000× на штатном мониторе
Тип эмиттера	вольфрамовая нить накала (термоэмиссионный)
Ток электронного луча	от 1 пА до 20 нА
Энергия электронного луча	от 0,1 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон
Объективная линза	электронно-оптическая колонна с технологией «Супертуннель» комбинированная электростатическая и электромагнитная объективная линза для минимизации аберраций
Диафрагма объективной линзы	многопозиционная с автоматическим переключением
Состав вакуумной системы	турбомолекулярный насос форвакуумный механический безмасляный насос ионно-геттерный насос давление в электронной пушке: 9×10⁻⁸ Па; Давление в камере образцов: 5×10⁻⁴ Па
Камера образцов	двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм максимальный размер образца: диаметр 260 мм, высота: 53 мм
Столик образцов	пятиосевой вакуум-совместимый моторизованный столик максимальный вес образца: 500 г
Диапазон перемещений	XY (авто)	0 – 125 мм
	Z (авто)	0 – 50 мм
	R (авто)	360 градусов
	T (авто)	от -10° до +90°
	-	-
Детекторы (стандарт)	внутрилинзовый электронный детектор (In-lens) детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD)
Детекторы (опции)	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD)
Система энергодисперсионного микроанализа (опция)
Детектор	Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью. • Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα • Диапазон детектируемых элементов от B до Am • Встроенная безазотная система охлаждения Пельтье для работы без вибраций и готовность к эксплуатации в течение одной минуты после включения • Ручной ввод детектора в камеру • Площадь детектора: 30 мм²
Программное обеспечение	• Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре; • Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; • Сравнение полученных спектров; • Полностью автоматическое вычитание фона и деконволюция перекрывающихся линий спектра для обеспечения количественного анализа; • Автоматический расчет матричных поправок для обеспечения точного количественного анализа как легких, так и тяжелых элементов; • Определение количественного элементного состава в автоматическом режиме во всем диапазоне определяемых элементов (B-Am), как на основе пользовательских эталонов, так и безэталонным методом на основе заводских эталонов; • Анализ в произвольно выбранной на изображении точке; • Цветное элементное картирование; • Построение профиля распределения элементов по линии; • Автоматическое последовательное получение серий спектров от точек, расположенных произвольно по выбору оператора; • Анализ в точке, по прямоугольнику, по эллипсу, по полигональной фигуре; • Формирование и экспорт отчетов по результатам анализа
Программное обеспечение микроскопа
Режим отображения	полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация
Формат хранения изображений	TIFF, JPG, PNG, BMP
Отображение изображения	768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей
Максимальный размер сохраняемого изображения	48×32 тыс. пикселей
Отображение сигналов	можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране
Смешивание сигналов	каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением
Скорость развёртки	четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования
Функции линейного измерения	поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д.
Область аннотации изображения и данных	предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа
Меню состояния	отображение различных рабочих параметров
Функция автоматической настройки	автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор
Функция навигации	оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры, трекбол (опционально)
Вспомогательное оборудование	вертикально установленная камера для оптической навигации система навигации по фотографии образца механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма / 8 дюймов (опция) панель управления с трекболом и поворотными регуляторами (опция)
Возможные опции	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED), энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX), дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD), шлюз для обмена образцами, панель управления с трекболом
Операционная система	Windows
Язык интерфейса	английский