Одноколонные СЭМ

HR4000X

Сканирующий электронный микроскоп

Автоэмиссионный СЭМ с технологией Ultra Beam Deceleration

Материалы ↓

0 – 110 ммY (авто)

0 – 65 ммZ (авто)

360 градусовR (авто)

48×32 тыс. пикселейМаксимальный размер сохраняемого изображения

Описание

Сканирующий электронный микроскоп HR4000X представляет собой стабильную, универсальную и гибкую платформу с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, предназначенный для получения изображений высокого разрешения для различных типов образцов. Микроскоп обеспечивает разрешение 1,8 нм при 1 кВ и легко справляется с задачами визуализации в широком диапазоне ускоряющих напряжений от 0,2 кВ до 30 кВ.

Ключевая особенность HR4000X — возможность модернизации с помощью технологии сверхбыстрого замедления пучка (Ultra Beam Deceleration), которая дополнительно повышает разрешение при низких напряжениях до 1,5 нм при 1 кВ и 0,8 нм при 15 кВ. Это делает микроскоп оптимальным выбором для лабораторий с растущими требованиями к качеству визуализации.

Особенности

Электронная оптика и принцип работы

Микроскоп использует многодетекторную технологию с внутрилинзовым электронным детектором (UD-BSE/UD-SE), способным одновременно обнаруживать сигналы вторичных и обратнорассеянных электронов, обеспечивая высокое разрешение и контраст на малых полях зрения.

Электронный детектор (LD), установленный в камере, включает кристаллический сцинтиллятор и фотоумножители, обеспечивая повышенную чувствительность и эффективность сбора сигнала. Это приводит к получению стереоскопических изображений превосходного качества с высокой глубиной резкости.

Детекторы и аналитические возможности

Микроскоп оснащен комплексом детекторов для всестороннего анализа микроструктуры. Базовая конфигурация включает ключевые детекторы для получения всесторонней информации о образце:

Внутрилинзовый электронный детектор (UD-BSE/UD-SE) обеспечивает получение изображений с высоким разрешением и контрастом по топографии и атомному номеру одновременно.
Детектор Эверхарта-Торнли (LD)
с кристаллическим сцинтиллятором и фотоумножителями обеспечивает высокую чувствительность и стереоскопическую передачу морфологии поверхности.
В качестве опций доступны выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (BSED) для контрастирования по атомному номеру, детектор для режима СТЭМ для анализа ультратонких срезов, детектор низкого вакуума (LVD), а также системы элементного анализа (EDS) и дифракционного структурного анализа (EBSD).

Детектор BSED: контраст по атомному номеру

STEM детектор и образец (Темнопольное изображение алюминиевого слоя микросхемы)

Автоматизация и расширение

Платформа HR4000X отличается высокой степенью автоматизации. Графический пользовательский интерфейс включает функции автоматической регулировки яркости и контраста, автофокусировки, автостигматизации и автоматического выравнивания, что позволяет быстро получать изображения высокого разрешения даже операторам без глубокой квалификации.

Графический интерфейс с автоматическими функциями

5-осевой механический эвцентрический предметный столик

обеспечивает перемещение по осям X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм с наклоном от -10° до +70° и вращением 360°. Двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) ускоряет поиск области интереса. Опционально предусмотрена автоматическая шлюзовая камера для образцов (4" / 8"), панель управления с трекболом и поворотными регуляторами, а также технология сверхбыстрого замедления луча для дальнейшего повышения разрешения при низких напряжениях.

Технические характеристики

HR4000X

Таблицу можно прокрутить вправо →

Разрешение	0,9 нм при 30 кВ (сигнал ВЭ), 1,0 нм при 15 кВ (сигнал ВЭ), 1,8 нм при 1 кВ (сигнал ВЭ)
Разрешение (с технологией Ultra Beam Deceleration)	0,8 нм при 15 кВ, 1,5 нм при 1 кВ
Увеличение	от 1× до 1 000 000× на штатном мониторе
Тип эмиттера	электронная пушка Шоттки с полевой эмиссией
Ток электронного луча	от 1 пА до 20 нА
Энергия электронного луча	от 0,2 до 30 кэВ непрерывный настраиваемый диапазон
Объективная линза	многодетекторная технология с внутрилинзовым детектором UD-BSE/UD-SE опциональная технология сверхбыстрого замедления пучка (Ultra Beam Deceleration) для повышения разрешения при низких напряжениях
Диафрагма объективной линзы	многопозиционная с автоматическим переключением
Состав вакуумной системы	турбомолекулярный насос форвакуумный механический безмасляный насос ионно-геттерный насос давление в электронной пушке: 9×10⁻⁸ Па; Давление в камере образцов: 5×10⁻⁴ Па
Камера образцов	двойная система визуализации (оптическая навигация + мониторинг камеры) объём камеры образцов: Ш: 360 мм, В: 317 мм, Г: 310 мм максимальный размер образца: диаметр 260 мм, высота: 53 мм
Столик образцов	пятиосевой механический эвцентрический столик, моторизованный по всем пяти осям максимальный вес образца: 500 г
Диапазон перемещений	X (авто)	0 – 110 мм
	Y (авто)	0 – 110 мм
	Z (авто)	0 – 65 мм
	R (авто)	360 градусов
	T (авто)	от -10° до +70°
Детекторы (стандарт)	внутрилинзовый электронный детектор (UD-BSE/UD-SE) детектор Эверхарта-Торнли (LD) с кристаллическим сцинтиллятором и фотоумножителями
Детекторы (опции)	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) детектор низкого вакуума (LVD) энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD)
Система энергодисперсионного микроанализа (опция)
Детектор	Кремниевый дрейфовый детектор, который позволяет получать данные с высокими разрешением и скоростью. • Разрешение по энергии 129 эВ для Mn Kα • Диапазон детектируемых элементов от B до Am • Встроенная безазотная система охлаждения Пельтье для работы без вибраций и готовность к эксплуатации в течение одной минуты после включения • Ручной ввод детектора в камеру • Площадь детектора: 30 мм²
Программное обеспечение	• Автоматическое определение пиков любых элементов в спектре; • Контроль идентификации пиков в «ручном» и автоматическом режимах, с наложением на спектр профилей линий элементов-кандидатов; • Сравнение полученных спектров; • Полностью автоматическое вычитание фона и деконволюция перекрывающихся линий спектра для обеспечения количественного анализа; • Автоматический расчет матричных поправок для обеспечения точного количественного анализа как легких, так и тяжелых элементов; • Определение количественного элементного состава в автоматическом режиме во всем диапазоне определяемых элементов (B-Am), как на основе пользовательских эталонов, так и безэталонным методом на основе заводских эталонов; • Анализ в произвольно выбранной на изображении точке; • Цветное элементное картирование; • Построение профиля распределения элементов по линии; • Автоматическое последовательное получение серий спектров от точек, расположенных произвольно по выбору оператора; • Анализ в точке, по прямоугольнику, по эллипсу, по полигональной фигуре; • Формирование и экспорт отчетов по результатам анализа
Программное обеспечение микроскопа
Режим отображения	полноэкранный режим, разделенный экран, многоканальная визуализация
Формат хранения изображений	TIFF, JPG, PNG, BMP
Отображение изображения	768×512 пикселей, 1536×1024 пикселей, 3072×2048 пикселей
Максимальный размер сохраняемого изображения	48×32 тыс. пикселей
Отображение сигналов	можно выполнять многоканальную визуализацию и одновременно отображать различные сигналы на разделенном экране
Смешивание сигналов	каждый детектор получает чистые сигналы вторичных электронов или отражённых электронов, которые могут автоматически смешиваться в соответствии с требованиями с регулируемым соотношением
Скорость развёртки	четыре режима сканирования (быстрое сканирование, среднее сканирование, медленное сканирование и выборочное сканирование) и поддержка произвольной регулировки скорости сканирования
Функции линейного измерения	поддерживает различные инструменты для измерений длин, углов, диаметров и т.д.
Область аннотации изображения и данных	предусмотрена стандартная область данных, в которой на изображении могут отображаться различные параметры состояния электронного микроскопа
Меню состояния	отображение различных рабочих параметров
Функция автоматической настройки	автоматическая регулировка яркости и контрастности, автофокусировка, автоматический стигматизатор, автоматическое выравнивание
Функция навигации	оптическая навигация, быстрая навигация жестами, по фотографии с ПЗС-камеры
Вспомогательное оборудование	двойная система визуализации камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) система навигации по фотографии образца механизм шлюзования под образец диаметром 4 дюйма / 8 дюймов (опция) панель управления с трекболом и поворотными регуляторами (опция) технология сверхбыстрого замедления луча (опция)
Возможные опции	выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED), детектор прошедших электронов для режима ПРЭМ (STEM), детектор низкого вакуума (LVD), энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX), дифракция обратнорассеянных электронов (EBSD), шлюз для обмена образцами (4"/8"), панель управления с трекболом, технология Ultra Beam Deceleration
Операционная система	Windows
Язык интерфейса	английский