Описание
GVC-5000 – это флагманское решение в линейке устройств для нанесения тонких пленок. Устройство представляет из себя компактную настольную систему, имеющую процессную камеру, выполненную из борсиликатного стекла, в которой располагается образец. Устройство может работать как в режиме магнетронного напыления металла, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Установка также имеет систему защиты от предельных давлений (сброс давления с помощью установленного напускного клапана) и защиту при превышении допустимого тока распыления.
Особенности
- Комбинированная система, работающая как в режиме магнетронного напыления, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий.
- Переключение одной клавишей между двумя режимами.
- Специальная конструкция установки, позволяющая избежать перекрестного загрязнения при переключении в два разных режима.
- Микропроцессорная система управления для точного контроля параметров технологического процесса (показания давления вакуума в реальном времени, тока распыления, времени распыления, времени работы оборудования и т.д.
- 7ти дюймовый цветной сенсорный экран.
- Два режима работы: непрерывный и импульсный нагрев.
- Встроенные функции защиты оборудования по перегрузки по току, превышения вакуума.
Технические характеристики
GVC-5000
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип установки | Комбинированная (магнетронное напыление и испарение металлических/углеродных покрытий) |
| Материалы мишени | Au, Pt, Ag, Cu, Sb, углерод и др. |
| Ток напыления | 5-45мА с плавной регулировкой |
| Испаритель | углеродное волокно высокой чистоты (диаметр 0,8 мм) |
| Режимы работы | непрерывное и импульсное испарение |
| Материал камеры | боросиликатное стекло диаметром 200×130мм |
| Откачка вакуума | роторный насос |
| Предметный столик | диаметр 120мм |
| Режим вращения столика | ручной/автоматический |
| Питание | 220 В / 50Гц, 1000 Вт |
| Функция защиты | защита от превышения вакуумного давления, от перегрузки по току, напряжению |
| Дисплей | 7ми дюймовый цветной сенсорный |
| Блок антизагрязнения | блок защиты от загрязнения, позволяющий избежать перекрестного загрязнения при работе в двух разных режимах |
| Доступные опции | измерение толщины пленок |
| Размер мишени | диаметр 57 мм, толщина 0,12 мм |
| Время напыления | От 1 до 999 секунд |
| Количество отсеков для испарителя | 4 |
| Рабочая среда | аргон/воздух |
| Производительность насоса | 1,1 л/c |
| Режимы скорости вращения образца | 2 режима |
| Габариты системы, ДхШхВ | 420 × 330 × 335 мм |
Применение
Нанесение тонких покрытий в вакууме при подготовке лабораторных образцов.
Материалы
Все материалы (1)Обсудим вашу задачу
Укажите образцы, метод и условия измерений. Подберём конфигурацию и состав оборудования.