Описание
GVC-5000 - это флагманское решение в линейке устройств для нанесения покрытий. Устройство представляет из себя компактную настольную систему, имеющую процессную камеру, выполненную из борсиликатного стекла, в которой располагается образец. Устройство может работать как в режиме магнетронного напыления металла, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Установка также имеет систему защиты от предельных вакуумного давления (сброс давления с помощью установленного напускного клапана) и защиту при превышении допустимого тока распыления.
Установка предназначена для предварительной подготовки непроводящих образцов к СЭМ сканированию (сканирование электронным микроскопом). Процесс пробоподготовки поверхности образца необходим для того, чтобы улучшить качество получаемых СЭМ изображений. Перед проведением сканирования, образец покрывают тонкой проводящей углеродной или металлической пленкой для усиления вторичного электронного сигнала, получаемого с SE детектора СЭМ. Тонкий напыленный слой позволяет устранить заряд на поверхности образца, уменьшить вероятность термического повреждение образца при воздействии на него электронным пучком. Использование углерода в качестве распыляемого материала может проводиться, например, для целей микроанализа с помощью EDS, WDS или EBSD детекторов электронного микроскопа.
Особенности
-
Комбинированная система, работающая как в режиме магнетронного напыления, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий.
-
Переключение одной клавишей между двумя режимами.
-
Специальная конструкция установки, позволяющая избежать перекрестного загрязнения при переключении в два разных режима.
-
Микропроцессорная система управления для точного контроля параметров технологического процесса (показания давления вакуума в реальном времени, тока распыления, времени распыления, времени работы оборудования и т.д.
-
7-и дюймовый цветной сенсорный экран.
-
Два режима работы: непрерывный и импульсный нагрев.
-
Встроенные функции защиты оборудования по перегрузки по току, превышения вакуума.
Технические характеристики
GVC-5000
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип установки | Комбинированная (магнетронное напыление и испарение металлических/углеродных покрытий) |
| Материалы мишени | Au, Pt, Ag, Cu, Sb и т.Д |
| Ток напыления | 5-45мА с плавной регулировкой |
| Испаритель | углеродное волокно высокой чистоты (диаметр 0,8 мм) |
| Режимы работы | непрерывное и импульсное испарение |
| Материал камеры | боросиликатное стекло диаметром 200×130мм |
| Откачка вакуума | роторный насос |
| Предметный столик | диаметр 120mm |
| Режим вращения столика | ручной/автоматический |
| Питание | 220 В / 50Гц, 1000 Вт |
| Функция защиты | защита от превышения вакуумного давления, от перегрузки по току, напряжению |
| Дисплей | 7ми дюймовый цветной сенсорный |
| Блок антизагрязнения | блок защиты от загрязнения, позволяющий избежать перекрестного загрязнения при работе в двух разных режимах |
| Доступные опции | измерение толщины пленок |
| Размер мишени | диаметр 57 мм, толщина 0,12 мм |
| Время напыления | От 1 до 999 секунд |
| Количество отсеков для испарителя | 4 |
| Рабочая среда | аргон/воздух |
| Производительность насоса | 1,1 л/c |
| Режимы скорости вращения образца | 2 режима |
| Габариты системы, ДхШхВ | 420 × 330 × 335 мм |
Применение
Нанесение тонких покрытий в вакууме при подготовке лабораторных образцов.
Материалы
Все материалы (1)Обсудим вашу задачу
Укажите образцы, метод и условия измерений. Подберём конфигурацию и состав оборудования.