Описание DVIO-S Отдельно стоящие пневматические опоры

Вид установленной оптической столешницы на отдельно стоящие пневматические опоры

80% – 99% эффективность изоляции при 10 Гц

Двухкамерный дизайн

Пневматическая вибрационная опора состоит из двух камер, которые разработаны специальным образом для снижения ее резонансной частоты и лучшей виброизоляции в низкочастотном диапазоне, повышения эффективности демпфирования. Размер воздушной камеры оптимизирован и герметизирован сверхмягкой качающейся диафрагмой и поршнем, что смягчает жесткость для  улучшения характеристик виброизоляции по оси Z.

Отличная амортизация

Вторая камера – это камера амортизации, которая соединена с первой камерой с помощью сопла. Когда воздушная камера создает восстанавливающую силу, воздушный поток поступает в камеру амортизации, а сопло рассеивает возникающие возмущения в воздухе, демпфируя систему и улучшая стабильность. Поскольку поршень перемещается вверх и вниз, то воздух проходит через сопло, создавая амортизирующее усилие, прикладываемое к полезной нагрузке. Данный тип демпфирования очень эффективен при больших смещениях поршня и меньше при небольших. Это позволяет добиться быстрой стабилизации оптической плиты под полезной нагрузкой без ущерба при изоляции вибраций малой амплитуды. Сопло, установленное между двумя камерами изолятора, быстро сокращает перемещение оптической плиты или внешнюю силу, приложенную к рабочей поверхности.

Автоматическое самовыравнивание

Высокопроизводительные выравнивающие клапаны автоматически возвращают оптическую плиту в горизонтальное положение. Пневматические опоры могут поставляться как со стандартным клапаном с воспроизводимостью выравнивания ± 1.0 мм, так и с высокоточным клапаном с воспроизводимостью выравнивания ± 0.05 мм. Если необходимо достижение быстрого времени стабилизации, точности выравнивания и воспроизводимости выравнивания с целью оптимизации рабочих условий оборудования, то рекомендуется использовать высокоточные клапаны.