GVC-5000 - ЭМТИОН
GVC-5000

InMicro

Комбинированная установка напыления

Описание GVC-5000

GVC-5000 – это флагманское решение в линейке устройств для нанесения тонких пленок. Устройство представляет из себя компактную настольную систему, имеющую процессную камеру,  выполненную из борсиликатного стекла, в которой располагается образец. Устройство может работать как в режиме магнетронного напыления металла, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий. Для откачки вакуума используется роторный насос, контроль давления в вакуумной линии осуществляется встроенным датчиком Пирани. Установка также имеет систему защиты от предельных вакуумного давления (сброс давления с помощью установленного напускного клапана) и защиту при превышении допустимого тока распыления.

Особенности системы:

  • Комбинированная система, работающая как в режиме магнетронного напыления, так и в режиме испарения металлических и углеродных покрытий.
  • Переключение одной клавишей между двумя режимами.
  • Специальная конструкция установки, позволяющая избежать перекрестного загрязнения при переключении в два разных режима.
  • Микропроцессорная система управления для точного контроля параметров технологического процесса (показания давления вакуума в реальном времени, тока распыления, времени распыления, времени работы оборудования и т.д.
  • 7ти дюймовый цветной сенсорный экран.
  • Два режима работы: непрерывный и импульсный нагрев.
  • Встроенные функции защиты оборудования по перегрузки по току, превышения вакуума.
Тип установки Комбинированная (магнетронное напыление и испарение металлических/углеродных покрытий)
Материалы мишени Au, Pt, Ag, Cu, Sb и т.Д
Ток напыления 5-45мА с плавной регулировкой
Испаритель углеродное волокно высокой чистоты (диаметр 0,8 мм)
Режимы работы непрерывное и импульсное испарение
Материал камеры боросиликатное стекло диаметром 200×130мм
Откачка вакуума роторный насос
Предметный столик диаметр 120mm
Режим вращения столика ручной/автоматический
Питание 220 В / 50Гц, 1000 Вт
Функция защиты защита от превышения вакуумного давления, от перегрузки по току, напряжению
Дисплей 7ми дюймовый цветной сенсорный
Блок антизагрязнения блок защиты от загрязнения, позволяющий избежать перекрестного загрязнения при работе в двух разных режимах

 

Доступные опции измерение толщины пленок
Размер мишени диаметр 57 мм, толщина 0,12 мм
Время напыления От 1 до 999 секунд
Количество отсеков для испарителя 4
Рабочая среда аргон/воздух
Производительность насоса 1,1 л/c
Режимы скорости вращения образца 2 режима
Габариты системы, ДхШхВ 420 × 330 × 335 мм
Каталог технологическое оборудование
Загрузить

Может быть полезно:

Автоэмиссионный СЭМ ЕМ8000

KYKY ЕМ8000 – это последнее поколение высокоразрешающих сканирующих электронных […]

Запрос цены Подробнее
Низковакуумный СЭМ ЕМ6900 LV

KYKY ЕМ6900 LV – это оптимальное решение для проведения […]

Запрос цены Подробнее

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы