Платформа PicoVAC - ЭМТИОН
Платформа PicoVAC

ООО "ЭМТИОН"

Малогабаритные технологические установки на базе платформы PicoVAC являются оптимальным выбором для лабораторного, исследовательского и образовательного применения, предлагая широкий набор современных технологических устройств с невысоким бюджетом стоимости и эксплуатации.

Описание Платформа PicoVAC

Вакуумное технологическое оборудование на базе платформы PicoVAC позволяет осуществлять осаждение (Магнетрон, ЭЛИ, ПХТиО и др) тонкопленочных и многослойных покрытий. Оборудование ориентировано на лабораторное, исследовательское и образовательное применение, а также на мелкосерийное производство.

 

Технологические процессы, реализуемые на базе платформы PicoVAC :

  • Магнетронное осаждение металлических слоев;
  • Магнетронное осаждение диэлектрических слоев;
  • Электронно-лучевое испарение;
  • Плазмохимическое осаждение из газовой фазы диэлектрических слоев (SiO2, Si3N4 и др.);
  • Атомно-слоевое осаждение тонких конформных слоев;
  • Удаление фоторезиста в кислородной плазме;
  • Плазмохимическое травление широкого спектра материалов;
  • Очистка и модифицирование поверхности подложек и структур.

 

Размер образцов Обработка образцов диаметром до 100 мм;

Расположение образцов – лицевой стороной вниз;

Источники питания Постоянный ток (DC): мощность 1000-1500 Вт

Индуктивно-связанная плазма (ICP): мощность 600-1000 Вт, частота 13.56 МГц;

Электронно-лучевой испаритель: мощность до 6 КВт;

Система ионного ассистирования Мощность до 2 КВт, для повышения плотности и однородности напыляемых покрытий;
Нагрев Ламповый до 350 оС, либо до 600 оС
Давление в камере Откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;

Рабочее давление в реакторе 10-2 — 10-6  торр;

Контроль давления – химически стойкие мембранные датчики, блокировка на открытие клапанов;

Количество газовых каналов От одного до четырех, в зависимости от технологического процесса;

Максимальный расход от 20 см3/мин до 100 см3/мин;

Электронные регуляторы расхода газов;

Управление Ручное или автоматическое с лицевой панели;

Может быть полезно:

ФТ-805

полнофункциональное исполнение с интегрированными (встроенными) приставками и детекторами возможность […]

Запрос цены Подробнее
CVDTube

Использование технологии химического осаждения из газовой фазы в установке […]

Запрос цены Подробнее

Описание методик

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ)

Магнитно-силовая Микроскопия (МСМ) [1, 2] является эффективным средством исследований […]


Микроскопия пьезоотклика (АСМ)

Основная идея Силовой Микроскопии Пьезоотклика заключается в локальном воздействии […]


Амплитудно-модуляционная АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Сканирующей Зондовой Микроскопии впервые было предложено Биннигом [1]. […]


Метод отображения Фазы АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Атомно-силовой микроскопии впервые было предложено […]


Научные результаты на обору­довании

Магнитооптические, структурные и поверхностные свойства (Bi, Ga)-замещенных DyIG пленок, полученных реактивно-ионным распылением.

Зависимости магнитооптических, структурных и морфологических свойств наноразмерных (Bi, Ga) […]


Микрораман. Измерение механического напряжения в кремнии

  Механическое напряжение может оказывать прямое или косвенное влияние […]


Автоматический поиск тонкодисперсных золотых фаз в слабо минерализованных горных породах с помощью СЭМ TESCAN с системой микроанализа AZtec Automated

При исследовании слабо минерализованных горных пород и выявлении особенностей […]


Исследование микроструктуры аустенитной нержавеющей стали с помощью детектора прошедших электронов TESCAN

Основными преимуществами сталей аустенитного класса являются их высокие служебные […]


Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы