Платформа PicoVAC - ЭМТИОН
Платформа PicoVAC

ООО "ЭМТИОН"

Малогабаритные технологические установки на базе платформы PicoVAC являются оптимальным выбором для лабораторного, исследовательского и образовательного применения, предлагая широкий набор современных технологических устройств с невысоким бюджетом стоимости и эксплуатации.

Описание Платформа PicoVAC

Вакуумное технологическое оборудование на базе платформы PicoVAC позволяет осуществлять осаждение (Магнетрон, ЭЛИ, ПХТиО и др) тонкопленочных и многослойных покрытий. Оборудование ориентировано на лабораторное, исследовательское и образовательное применение, а также на мелкосерийное производство.

 

Технологические процессы, реализуемые на базе платформы PicoVAC :

  • Магнетронное осаждение металлических слоев;
  • Магнетронное осаждение диэлектрических слоев;
  • Электронно-лучевое испарение;
  • Плазмохимическое осаждение из газовой фазы диэлектрических слоев (SiO2, Si3N4 и др.);
  • Атомно-слоевое осаждение тонких конформных слоев;
  • Удаление фоторезиста в кислородной плазме;
  • Плазмохимическое травление широкого спектра материалов;
  • Очистка и модифицирование поверхности подложек и структур.

 

Размер образцов Обработка образцов диаметром до 100 мм;

Расположение образцов – лицевой стороной вниз;

Источники питания Постоянный ток (DC): мощность 1000-1500 Вт

Индуктивно-связанная плазма (ICP): мощность 600-1000 Вт, частота 13.56 МГц;

Электронно-лучевой испаритель: мощность до 6 КВт;

Система ионного ассистирования Мощность до 2 КВт, для повышения плотности и однородности напыляемых покрытий;
Нагрев Ламповый до 350 оС, либо до 600 оС
Давление в камере Откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;

Рабочее давление в реакторе 10-2 — 10-6  торр;

Контроль давления – химически стойкие мембранные датчики, блокировка на открытие клапанов;

Количество газовых каналов От одного до четырех, в зависимости от технологического процесса;

Максимальный расход от 20 см3/мин до 100 см3/мин;

Электронные регуляторы расхода газов;

Управление Ручное или автоматическое с лицевой панели;

Может быть полезно:

ФТ-805

полнофункциональное исполнение с интегрированными (встроенными) приставками и детекторами возможность […]

Запрос цены Подробнее
CVDTube

Использование технологии химического осаждения из газовой фазы в установке […]

Запрос цены Подробнее

Описание методик

Корреляционная Зондовая и Электронная Микроскопия — КЗЭМ

  Корреляционная микроскопия предоставляет преимущества визуализации одного и того […]


Рамановская спектроскопия

В Рамановоской спектроскопии (Спектроскопии Комбинационного рассеяния) образец облучается монохроматическим […]


Атомно-силовая Акустическая Микроскопия

Основная идея Атомно-силовой Акустической Микроскопии (АСАМ) заключается в возбуждении […]


Посмотреть все методики

Научные результаты на обору­довании

Идентификация драгоценных камней с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния света

В настоящее время на ювелирном рынке существует большое разнообразие […]


Управление разделением фаз в тонких пленках диоксида ванадия с помощью структурирования подложек

Сильные электронно-решетчатые взаимодействия в коррелированных электронных системах предоставляют уникальные […]


Исследование микроструктуры аустенитной нержавеющей стали с помощью детектора прошедших электронов TESCAN

Основными преимуществами сталей аустенитного класса являются их высокие служебные […]


Посмотреть все статьи

Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы