TESCAN LYRA 3

TESCAN

TESCAN LYRA 3 - Это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны

Описание TESCAN LYRA 3

LYRA 3 FEG — это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями, что превращает LYRA 3 FEG в модель для самых взыскательных пользователей.

Описание системы

  • Полностью интегрированное в ПО микроскопа управление электронной колонной (SEM), ионной колонной (FIB) и системой инжектирования газов (GIS).
  • Новое поколение модуля для нанолитографии DrawBeam с возможностью программирования собственных процедур автоматизации.
  • Максимально большая камера образцов с геометрией портов, оптимизированной для задач микроанализа.

Характеристики электронной колонны (FEG SEM)

Колонна SEM на основе MIRA 3 Wide Field OpticsTM c катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки) и с уникальной трехлинзовой электронной оптикой Wide Field OpticsTM для оптимизации формы и размера пучка.
Функции колонны SEM:

  • Получение изображений
  • Реализация возможностей микроанализа
  • Навигация по образцам
  • Литография электронным пучком (доступно при установке опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker)

Характеристики ионной колонны (FIB)

Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащенная жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.
Функции колонны FIB:

  • Микро/нано модификация поверхности образцов
  • Литография ионным пучком

Характеристики системы инжектирования газов (GIS)

Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
Некоторые функции системы GIS:

    • Осаждение проводящих или непроводящих материалов
    • Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов
    • Опционально доступна Mono-GIS система

 

Характеристики наноманипуляторов

В зависимости от поставленных задач предлагаются различные типы наноманипуляторов:

  • Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии)
  • Тестирование материалов
  • Инструменты для обработки
  • Нанозондирование и тестирование

Примеры применения
LYRA FEG

  • Микро/нано-структурирование
  • Создание нано-прототипов
  • Контроль и анализ отказов
  • Нано-томография
  • Приготовление локальных поперечных сечений, измерение толщины тонких пленок
  • Приготовление ламелей для просвечивающей электронной микроскопии
  • Задачи криминалистической экспертизы
  • Другие задачи в области фундаментальных исследований, материаловедения и т.д.

Варианты исполнения LYRA 3 FEG

LYRA 3 XMH

Модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка x 10-3Pa используется для исследований токопроводящих образцов.

LYRA 3 XMU

Модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (вплоть до 150 Па). Сохраняя все преимущества работы в режиме высокого вакуума, при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.

Характеристики электронной колонны (FEG-SEM)

  • Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов.
  • Уникальная трехлинзовая электронная оптика Wide Field Optics™ с использованием промежуточной линзы для оптимизации формы пучка, запатентованная компанией Tescan, предназначена для получения изображений в различных режимах (Разрешение, Глубина резкости, Широкое поле обзора и т.д.).
  • Технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации параметров пучка электронов в реальном времени с помощью тщательно проработанного интегрированного программного обеспечения Electron Optical Design, что позволяет, в частности, выполнять прямой и непрерывный контроль размера пучка и тока зонда. Подробнее про Electron Optical Design  здесь.
  • Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями.
  • Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.

Характеристики ионной колонны (FIB)

  • Ионная колонна с уникальной оптикой, откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
  • Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур.
  • Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.
  • Получение SEM-изображений во время процессов ионной литографии.
  • Управление ионной колонной полностью интегрировано в ПО микроскопа.
  • Программные средства для создания сложных литографических шаблонов с настраиваемыми параметрами выдержки.

Характеристики системы инжектирования газов (GIS)

  • Геометрически идеальное сочетание с колонной микроскопа и ионной колонной.
  • 5 независимых резервуаров с газом и с системой капилляров либо, опционально, вплоть до 3 независимых «MonoGIS» систем.
  • Автоматизированное перемещение форсунок по 3-м осям.
  • Автоматизированный контроль температуры.

 

Колонна SEM
Источник электронов Катод Шоттки
высокой яркости
Разрешение (SE) 1.2 нм при 30 кВ
Ускоряющее напряжение от 200 В до 30 кВ
Ток пучка электронов от 2 пА до 100 нА
Увеличение 2x — 1,000,000x

 

Колонна FIB
Источник ионов Жидкометаллический источник ионов Ga
Разрешение (SE) < 5 нм при 30 кВ
Вакуум в пушке < 5 × 10-6 Па
Увеличение 150x — 1,000,000x
Ускоряющее напряжение от 0.5 кВ  до 30 кВ
Ток пучка ионов от 1 пА до 40 нА
Камера образцов
Внутренний диаметр 300 мм (ширина) x 330 мм (глубина)
Дверца 280 мм (ширина) x 310 мм (высота)
Число портов 13+
Подвеска активная электромагнитная
Столик образцов
Тип Полностью моторизованный
по 5-ти осям, компуцентрический
Перемещения X = 130 мм
Y = 130 мм
Z = 100 мм
Вращ.: 360° непрерывно
Наклон: от -30° до +90°
Высота образца Не более 139 мм

Может быть полезно:

Описание методик

Полуконтактный АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Сканирующей Силовой Микроскопии впервые было […]


Метод отображения Фазы АСМ

Использование колеблющегося кантилевера в Атомно-силовой микроскопии впервые было предложено […]


Многопроходные Методики

Многопроходные методики АСМ обычно используются в задачах, где необходимо […]


Научные результаты на обору­довании

Магнитооптические, структурные и поверхностные свойства (Bi, Ga)-замещенных DyIG пленок, полученных реактивно-ионным распылением.

Зависимости магнитооптических, структурных и морфологических свойств наноразмерных (Bi, Ga) […]


Микрораман. Измерение механического напряжения в кремнии

  Механическое напряжение может оказывать прямое или косвенное влияние […]


Оставьте заявку

И мы ответим на интересующие Вас вопросы